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上海ebi光谱仪器的模拟及调试
目 录
中文摘 要
英 文 摘 要
第 一 章 引言
L l 背 景
1.2 E B IT 工 作 原理
L 3 论文框 架 简介
第 二 章 上海EB IT 光谱 学 实验 平 台
2.1 M ep herson N o v A 225型真 空紫外单 色仪 简介
2.2 平 焦场谱 仪 简介
2 :2 1 变 栅 距 光栅
2.2.2 从光程 函数 出发 设 计 变 栅距 光 栅 的过程
2.2.3 上海 E BIT 平焦场 谱 仪及控 制 系 统简介 10
2.2.3.1 谱 仪 系 统 的技 术 指 标 l0
2.2.3.2 谱 仪系统 的设 备 构成 11巧110343
第三 章 光 学模拟 软件 简介
3.1 光 学设计 软件 Z E M A X 简介
3.2 光 学设计 软件 B R A Y 简介
第 四章 上海 E B IT 光谱 仪 器 的模 拟 及 调 试
4.1 M eph ers。n N O VA 225 型真 空紫 外 单 色 仪 的超 环 面
镜 设计 l5
4.2 平 焦 场 谱 仪 的光 学模 拟 l7
4 .2.1 变栅 距光栅刻制参数 的计算 17
4.2.2 平焦场谱仪 的光 学模拟 18
4.3 平 焦 场谱 仪 的离线 校 刻 19
4 .3.1 平焦场谱 仪校刻 I 19
4 .1 2 平焦场谱仪校 刻 n 2 0
4.3.3 平焦场谱 仪校 刻 n l 2 4
4 .3.4 平焦场 谱 仪校 刻 W 2 5
4.4 平焦 场谱 仪 新 的校 刻方 法 2 7
第 五 章 论文 小 结 3 0
附录
附录 一 上海 E B IT 球 面 镜 图纸 3 1
附录 二 上 海 E B IT 超 环 面 镜 图纸 3 2
附录 三 上海 E BI T 超 环 面 镜 研 制 与检 测 报 告 3 3
附录 四 B ra y 程 序输 入 文件 详解 3 9
发表及 投稿 文 章
参 考 文 献
致 谢
摘 要
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