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Y654114 大口径高精度光学元件数控抛光技术研究 光学专业 研究生:王健 指导教师:蔡邦维 摘 要 ICF驱动系统大口径光学元件的加工质量是整个系统光束质量的关键，本 论文系统地研究了计算机控制小磨头抛光方法对ICF驱动系统的大口径平面光 学元件、校正板和非球面透镜进行加工的理论和具体工艺流程。所取得的主要 研究结果包括: 一、对光学玻璃抛光的机理做了研究和分析，对于现用的传统和数控抛光 方式，可以认为机械作用是基本的，化学作用是重要的，而流变现象是存在的。 抛光去除是这三种方式综合作用的结果。对计算机控制抛光的基础理论作了分 析，对材料的去除函数和数控抛光的驻留函数作了分析和推导。 二、针对平面数控抛光问题，对所使用数控机床的运动方式和抛光的磨削 函数作了分析;通过对俄罗斯抛光工艺程序的使用分析，针对现有的光学检测 情况，自编两种工艺程序，这两种工艺程序互为补充，取得了良好的元件加工 效果。最后介绍了高径厚比石英窗口的数控抛光实验过程和结果。 所完成的平面数控加工工艺获得了军队级科技进步三等奖，目前是神光III 原型装置平面玻璃光学元件精抛光的主工艺方法。对于透射窗口元件，加工精 度可以稳定地达到单次透射波前畸变1/0.(PV值)。对于反射镜，加工精度可 以稳定地达到面形1/8X(PV值)。 三、基于平面数控抛光的技术特点，提出了数控抛光加工随机波前校正板 解决激光装置系统静态波前畸变校正的思路，是数控加工技术一个新的应用领 域。解决了波前畸变合成问题，设计了验证实验方案，并通过实验验证了其可 行性。该工作获得军队级科技进步三等奖。 四、解决非球面聚焦透镜数控抛光问题。对所仲用数控机床的运动方式作 洁 ~ 味 流 泌 如 了分析:根据机床的运动方式和元件的特点，设计数控抛光运动。对元件在各 加工阶段中产生的误差对最终检测结果的影响作了定量分析。对检测调整误差 和加工误差作了分析并有效分离，保证了检测对加工的有效指导作用。编制工 艺程序，取得了良好的加工效果。 所完成的非球面透镜数控加工工艺正申报2004年度军队级科技进步二等 奖，目前是神光m原型装置非球面聚焦透镜精抛光的主工艺方法。加工精度可 以稳定地达到单次透射波前畸变 113,(PV值)。表面粗糙的优于 1.2nm(RMS)，达到了美国国家点火装置(NIF)同类元件的制造水平。 关键词:数控光学抛光，工CF驱动系统，大口径光学元件，波前畸变，校正板， 非球面透镜 本论文工作得到国家高技术863计划项目(804-2)、中国工程物理研究院行业 科学技术预先研究基金 资助。 Studiesoncomputercontrolledopticalfinishingfor largeaperturehighprecisionoptics major:optics By:WangJian Tutor:CaiBangwei Abstract AsthedriveroftheInertialConfinementFusion(ICF),thehighpower solid-statelaseremploysalotoflargeapertureopticalcomponents.Toguaranteethe safefunction,thefabricationqualityisakeyproblem,whichisalsotheprecondition ofthehighqualitylaserbeam.Inthisdissertation,computercontrolledoptical finishingusingforlarge