液体微流喷靶激光等离子体软x射线—极紫外光源研究.pdfVIP

液体微流喷射靶激光等离子体软X射线一极紫外光源研究 研究生：齐立红 指导教师：陈波 尼启良 摘要 激光等离子体(LPP)光源作为一种新型的软x射线光源，其研究始于二 t-世纪七十年代。随着极紫外投影光刻以及辐射计量等应用领域对光源的要求 的不断提高，LPP软X射线一极紫外光源保持不断的向前发展。本论文即是研 究一种新型的LPP软X射线一极紫外光源。 本文首先综述了LPP软x射线光源的研究发展状况和最新进展。尽管先后 研制了多种类型的LPP软x射线光源，但是仍然存在不足，晚明开展新型的 LPP软X射线光源研究的必要性。 其次，从理论上介绍了激光在等离子体中的传播特性及激光与等离子体的 相互作用。并且依据非相对论量子力学理论，利用Cowan程序，计算了03+、 跃迁几率，为光谱诊断提供依据。 根据流体力学规律和相关的研究成果以及真空系统要求，结合低温制冷技 术，设计加工了液体微流喷射靶。它由喷嘴、阀门、高压腔和控温组件等部分 构成。以液体微流喷射靶和激光器为主体，研制出液体微流喷射靶激光等离子 体软X射线一极紫外光源．光源能够使用多种靶材，包括常温下液体和气体。 利用Mcpherson247型单色仪和光电二极管为主体的一套光谱测量装置，测 量了水、乙醇、丙酮和四氯化碳这些常温下液体靶材的液体微流喷射靶LPP光 源在11·20hm的辐射光谱，另外测量了常温下气态的Xe和幻液体微流喷射靶 LPP光源在11-20nto的软x射线辐射光谱。实验研究表明光源光谱辐射稳定性 达到7％。 关键词：激光等离子体、软x射线、液体微流喷射靶、极紫外、光源 液体微漉喷射靶教光筹离于体软x射线．板紫外光源研究 soft andEUVsourcewith Laser-prOducedplasmaX—ray liquidjettarget Graduate student：QiLihong Directed BoandNi by：Chen Qiliang Abstract Inthese sourlce for years,the illumination demanding requirements are ultraviolet radiationmeasurementnow EUVL(extreme lithography)and sourceinthesoft andEUV x-my spectrum．Thelaser-producedplasma(LPP)source isonekind soft andextreme sourceswhichhas ofpromisingX．ray ultraviolet(EUVl beenstudiedfromthe the ofthe powerlaser, 1970’S．Fortunately,withprogresslarge the the has aimsatanewkindof on LPPsourcebeenadvanced．This study study LPP