硅基光波导件.pdfVIP

．● ≮36毒956 硅基光波导器件 塑塑系筮塞查专业 学生姓名迹l导师姓名王垫导师职称塑援 摘要 硅基光波导作为硅基光集成的基本组成部分，其性能对整个集成光路的性能 有非常重要的影响。这里，我们提出了两种新的波导结构，并对这两种结构的波 导进行了传输特性分析。 1．对传统的锗硅波导的结构进行了改进，提出了渐变折射率波导结构。对 于这样一种结构，光将被束缚在远离界面的区域传播，因而在界面处的 散射损耗将减小，从而将减小整个波导的损耗。我们对这种波导结构， 利用多层逼近和有效折射率法进行了模式分析，给出了模折射率随各波 导参数的变化曲线；给出了波导参数的优化设计方法，并讨论了和光纤 的匹配问题：对光在波导中的分布进行了研究，并以此对其传输损耗进 、 行了估计。十7、 ／ 2．提出了一种全新的折射率反转型光波导，光在折射率较小的芯层中传播， 依靠光在两种折射率差很大的介质界面上掠入射时很大的反射率来完成 光的约束。我们采用线光学近似估计了这种波导结构的波导传输损耗， 并利用时域有限差分法进行了光在波导中传输行为的数值模拟，发现这 种波导有良好的单模特性，较小的传输损耗。我们还制作了这种结构的 波导，并对样品进行了测试，在实验中，我们观察到这种波导结构有相 当良好的传输特性。厂一丫 关键词：硅基光波导，时域有限差分法。 分类号：TN252 Abstract of ofthe and si—based isonethebasic integratedoptics waveguide parts light the ofthewhole will affectcharacteristics greatly performance opto-electronics．Its ofSi—based are this newstructures device．In work，two waveguideproposed．The characteristicsofthe arestudied． propagation waveguides structurewith ofthe new 1．To the SiGe improveperformance waveguide，a is such contentdistribution