计算机编程制hfcvd系统与金刚石薄膜及相关材料生长的研究.pdf

致谢 首先要感谢我的导师方容川教授，自1995年我本科四年级进入实验室以 来，方老师在科研与学习上都给予我精心指导，提供了很多的锻炼机会。从我 ， 对科研一无所知，到初步踏入科研的大门，我前进的每一刻都离不开方老师孜 孜不倦的教诲，每一步都是方老师无私心血的凝聚。方老师所强调的勤于动手 和勇于实践，使我掌握了很多方法和技能。方老师所强调的独立工作和主动创 ／ 新，使我面对问题时积极思考。方老师治学严谨的态度、勤勤勤恳恳的作风和 兢兢业业的精神不仅给以我很深的印象，更时时鞭策着我，将使我终生受益。 在本论文即将完成之际，回首作为方老师研究生的岁月，我衷心感谢方老师给 予我工作上的指导与生活上的关怀。 在此我还要感谢马玉蓉教授，除了工作上马老师渊博的光学知识使我受 益匪浅以外，生活上马老师也对我的工作、学习和家庭给予了无微不至的关怀 与照顾。衷心感谢马老师。 感谢王冠中副教授，他既是我的良师，也是我的益友。从他那里我学到 了很多实验技能，他也给我和我的家庭以很多的方便与照顾。感谢余庆选副教 授、廖源博士后、尚乃贵博士后给予我工作上的大力支持和有益的讨论。 感谢叶祉渊博士、薛剑耿硕士、叶峰硕士、李灿华硕士、沈维康硕士、 ，／ 吴气虹博士、揭建胜博士、牛晓滨硕士、于琳硕士、韩新海硕士以及王代冕、 徐光晓、李艳秋、洪振东、徐华春等同学，感谢他们在工作上和生活上的大力 帮助。 感谢国家高技术发展规划(八六三计划)对本项目研究的资助，感谢责 任专家金亿鑫研究员对本课题的关心、支持和帮助。 在此，我特别感谢我的父母，是他们的养育之恩和一贯支持使我得以有 今天的成就。我还要特别感谢我的岳母、我的妻子和女儿，本论文的顺利完成 与她们的支持和奉献是分不开的。我要感谢我的哥哥与姐姐、我妻子的哥哥与 弟弟，感谢他们的关怀与照顾。仅以此文献给他们。 二oo一年六月 中国科学技术大学研究生院博士论文 摘要 ／ (金刚石以其优异的力学、热学、光学和电子学等性质而受到人们的广泛 关注，80年代以来低压CVD法制备金刚石薄膜的成功，使得金刚石薄膜成为 物理、化学、机械、电子、材料等方面的研究人员竞相研究的热点材料。但是 目前关于金刚石薄膜的生长机制仍然并不明确，而且用于金刚石薄膜的生长 CVD设备都是手工操作，不仅对反应器内薄膜生长状态的变化难以及时作出调 整和反应，而且要耗费大量的人力资源。本论文工作首先建立了一套计算机编 程控制的热丝化学气相淀积系统，用于实现无人值守地金刚石薄膜自动化生 、，—D—～ 长，以期为金刚石薄膜的工业化生产探索一些经验。J为了提高金刚石薄膜的质 量和生长速率，本论文结合气相化学和表面化学模拟以及原位光发射谱诊断， 把金刚石生长的传统C／H体系扩展到N／C／H体系，详细研究了生长气氛中加氮 对金刚石的影响，并探讨了HFCVD系统中传热与传质的机制和光发射谱反馈 控制途径。并利用此HFCVD系统，在Si／C／N／H体系中成功地制各出了一种性 能与金刚石同样优异的!ig盟夔照挝型，以及sicN／金刚石和金刚石／金刚石多 层膜。 ， I第一章综述了金刚石薄膜研究的历史。总结了典型制备技术的特点和目 前关于金刚石成核、生长、缺陷形成和生长机制的研究进展。 第二章介绍了我们自主研制的二维空间分辨原位光发射谱诊断设备和计 算机编程控制HFCVD系统，以及这套HF