超高密度磁录用磁头材料fe-co薄膜的研究.pdfVIP

兰州大学硕士论文 摘要 中文摘要 由于可用于超高密度磁记录写磁头的良好前景，高饱和磁感应强度FeCo基薄膜 材料吸引了越来越多的注意。但是FeCo合金有一个很大的饱和磁致伸缩常量^ ,=40-一65×10一，这使得获得软磁性的FeCo合金非常的困难。使用通常的溅射方法制 备的FeCo合金薄膜的矫顽力大约为50．100Oe。加入第三元素和加入过渡层都是可采 用的降低矫顽力的方法，但这样做的后果往往引起Ms的降低。所以关键是要找到一 种方法，获得既有高饱和磁感应强度又有低矫顽力的FeCo合金薄膜。本论文采用共 构和磁性的影响，重点研究了C093Fe7这一衬底薄膜结构和磁性能的影响。得到的结 论如下： 1．单层Fe-Co薄膜的成分和磁性能 这部分主要研究了成分和基板温度对薄膜磁性能的影响。基于这部分工作得出以 下结论： A．在co含量在30％--40％at．％的成分区域内，薄膜的饱和磁化强度几乎都有 口oMs=2．43大小；当Co成分在30,--37at．％范围内时，薄膜的矫顽力垃有很低的值， 在嘉34at．％时最小可达1KA／m； 基板温度升高时，薄膜的矫顽力降低很快，饱和磁化强度则有轻微的升高； C．基板温度在3600C左右时，薄膜的饱和磁化强度和矫顽力有较好的值。 2．C呻3FeT／Fe65C035型薄膜的结构和磁性能 主层厚度变化时对薄膜磁性能的影响，基于这部分实验得出以下结论： A．衬底为Irma时，就能很好的降低矫顽力，随着衬底厚度的增加，薄膜的矫顽力并 没有显著的改变，只有稍微的增大； B．衬底成分为C093Fe7薄膜取得最低的矫顽力； c．当主层厚度减小的时候，难轴矫顽力只有轻微的较小，100nm的主层厚度是一个 最佳值； D．当主层的厚度增加到100纳米时，薄膜织构有一个从(100)到(200)的转变， 并且主层厚度直到500纳米时仍然保持这一织构。 3．NhFe21用e65C035型薄膜的性能 这部分研究了Ni79Fc21币e65C035薄膜的结构和磁性能。基于这部分实验得出以下结 论： 兰州大学硕士论文 摘要 A．当坡莫合金衬底的厚度只有0．5纳米的时候，FeCo薄膜的易轴矫顽力和难轴矫顽 力已经有了巨大的变化； B．当村底厚度增加到1纳米的时候，FeCo薄膜的矫顽力降低到最低点； C．基板温度塑J3600C时，有一个从(100)到(200)的转变。 D．当衬底厚度固定在1纳米，主层钴含量增加至1J25％的时候，薄膜的难轴矫顽力降 到最低点。 4．Cu，Fe衬底的作用及其与co妇Fe7、Ni79Fezl衬底作用的比较 顽力和难轴矫顽力已经有了巨大的变化： B．只有在Cu衬底厚度小于3纳米时，才能获得较好的软磁性能。 c．矫顽力的降低不是受交换作用引起的涟波结构的减弱机制决定的。 构改变引起的磁弹性能的减小也可以改善软磁性能。 E．薄膜的比较粗糙的上表面可能会有助于矫顽力的增大。 最终用共溅射的方法成功制各了用于超高密度磁记录磁头的、具有高饱和磁感 应强度和低矫顽力的FeCo合金薄膜。 兰卅I大学硕士论文 摘要 ABSTRACT FeCo saturation based山infilmsattractmoreand High magnetization moreattention to for headsachieve itisdifficultto soft recording high density,but obtain recording FeCo ofits r