金刚石薄膜型掺杂的气相动力学过程研究.pdfVIP

摘 耍 摘 要 本工作采用MonteCarlo方法，根掘辉光放电理论，利制“伪f({f!撞”技巧和 重整化方法深入研究，低温合成金刚石薄膜过稗l二|二】电子的角分厕J以及电子的复合 过程的影响，=：『t目首次刘以H2s为掺自；源气体采J-tlEACVD技术合成n型硫掺杂 的金…4i薄膜的动力学过稗进行了模拟。1二耍结粜如下：(：1)471究了电r在雪崩 碰撞和分解电离后的角分布情况，结果丧明皋片刚近电子晌散射以大角散射乃仁， 托维持辉光放电的条件P，较高的偏¨i刊1一作气压刘金刚石的横向连续成膜是有 益的；(2)考虑了低涡合成金刚石淳膜过程r1·电子与各种研片粒子的复合过稃， 给出r小同的复合系数情况I、的粒r数分川J，结果显示猝种碎片粒i二的分巾随复 合系数的变化会出现粒了数分布的涨落岘象。(3J对不同7叫；、偏压千u小】司的配 比情况l、N型硫掺杂的金刚栩薄膜fI,J2)j刀学过程进行了模拟，得…r掺杂』L素s 和sl以及惰性气体Ar+的粒子数分却．计算结果对掺杂过程的，一究有重要的参考 价值。 关键词：余刚石薄膜；N型掺杂；MontcCarlO方法：EACVD；7¨目动力学模型