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超磁致伸缩微机械悬臂梁系统的理论研究 摘要 微机械多层悬臂梁在现代物理学与材料学中占有举足轻重的地位。随着器 件的微型化和小型化进程的逐步推进，它在磁共振力显微镜以及各类微机．电器 件中得到了广泛的应用。近年来，超磁致伸缩材料的成功制备为新一代非接触 驱动微机．电系统(MEMS)器件的研发提供了可靠的基础材料。超磁致伸缩薄 MEMS中十分重要的元件之一。然而，超磁致伸缩薄膜．衬底悬臂梁系统的理论 研究一直处于滞后状态，而且一些基础问题的讨论尚存在较大的争议。本文主 要研究磁致伸缩微机械多层悬臂梁系统的弯曲和扭转等问题的基本理论，并在 此基础上进一步讨论体系在MEMS器件中的应用与优化问题。 首先，以能量极小原理和与之等价的力学平衡方程理论为基础，提出了建 立在四参数弯曲机制上的薄膜．衬底多层悬臂梁系统的一般性理论。该理论适用 于任意点荷载下，具有任意薄膜／衬底厚度比悬臂梁系统的弯曲问题。借助于平 衡方程，我们导出了悬臂梁弯曲、扭转和负载等问题的解析解。在此基础上， 将各向同性以及各向异性膨胀引起的悬臂梁弯曲问题纳入统一的理论框架中。 其次，利用我们提出的理论重点研究了磁各向同性超磁致伸缩双层及三层 悬臂梁体系的弯曲和负载特性。结合材料的物理参数与几何参数，具体讨论了 悬臂梁体系在传感器和执行器等微机．电器件中的应用优化问题，给出了器件应 用的最佳条件，并且修正了现行理论给出的一些不正确结果。部分数值结果与 最近的实验及有限元模拟结果进行了比较，结果符合得很好。因而说明我们提 出的悬臂梁理论是合理的。 再次，结合磁化反转理论，利用悬臂梁系统四参数模型研究了具有磁单轴 各向异性的磁致伸缩薄膜．衬底悬臂梁系统的弯曲和扭转效应。考虑相对较软的 衬底，在模型中忽略了悬臂梁的机械阻尼，因此体系的弯曲和扭转过程完全取 决于磁化强度翻转过程。根据此模型计算得到的扭转回线与最近的实验结果基 本符合，说明我们的理论可以有效地描述由磁单轴各向异性控制的悬臂梁体系 的弯曲和扭转效应。当外磁场大于薄膜的矫顽力时，在其难磁化轴附近悬臂梁 的扭转角对磁场方向的变化极其敏感，此特性可以用于提高磁致伸缩 致，从而进一步阐明我们提出的模型是合理的。 最后，以四参数悬臂梁弯曲理论为基础，研究了厚膜超磁致伸缩复合材料 与非磁衬底耦合构成的悬臂梁系统。对于此类厚膜，其磁致伸缩应变往往存在 沿厚度方向的梯度，为此，我们引用了最近描述薄膜中的剩余应力及其梯度的 多项式展开方法，首次给出描述厚膜超磁致伸缩悬臂梁系统的有效弯曲理论。 计算结果表明，对于超磁致伸缩厚膜，其内应变梯度有利于提高体系的弯曲挠 度，即相应MEMS器件的分辨率。在悬臂梁曲率测量技术的基础上，提出了测 量磁致伸缩应变及其梯度系数的实验方法。通过改变衬底厚度(如，刻蚀)，我 们可以完全测定膜内双轴应变(应力)及其梯度。 关键词：超磁致伸缩，悬臂梁，弯曲扭转形变，传感器，执行器，应 力梯度 01 076200 本文得到国家自然科学基金(批准号：147203和l1)， 科学技术研究重大项目(批准号：206024)的资助。 Ⅱ THEoRETICALSTUDYoF GIANT MICRoMACHINEDCANTILEVERSYSTEM Narsu (Theoretical PhysicsMajoO Directed ProfessorYun By Guohong ABSTRACT Micromachinedcantileverisof inthemodem andmaterial grea