静态呼吸图构筑三维多孔结构与图案化碳纳米管阵列.pdfVIP

摘要 摘要 图案化是当今微／纳米技术的一个重要研究课题，广泛应用于集成电路、信息 存储设备、微型电气一机械系统、小型传感器、生物芯片等众多领域。其中，具 有三维微纳米图案的功能材料，更是微型器件构筑中的核心组分。目前，在三维 微图案化的两大工艺中，以刻蚀为核心的“自上而下”技术，可实现结构长程有 序，图案多样，精度高，缺陷少，但涉及步骤繁多，设备成本高昂，生产效率较 低；基于自组装的“自下而上”技术，成本低，加工方便，却易引入缺陷。这迫 种在湿润气氛下铸膜，以在溶液表面冷凝并自组装排列的水滴为模板的新技术， 为聚合物薄膜的图案化开辟了新的道路。通过改变铸膜条件，人们可以方便地对 多孔膜的表面形貌和孔径进行动态调节。最近，我们发展了一种被命名为静态呼 吸图法的新技术，采用静态饱和水蒸气而不是传统呼吸图法中以湿气流作为水滴 来源的做法，成功实现了非极性线形聚合物和聚合物／无机前驱体混合体系的薄 膜图案化，拓宽了可适用于呼吸图法的铸膜材料选择范围。在本文中，我们利用 静态呼吸图技术，进一步借助非平面的基底和化学气相沉积法(CvD)，分别制 备了三维有序的聚合物多孔薄膜和图案化的碳纳米管阵列。 选用商品化的三嵌段聚合物聚苯乙烯．b．聚异戊二烯．b．聚苯乙烯(SiS)作为 铸膜材料，利用聚合物在成膜过程中良好的粘流性，在非平面基底如单晶糖上， 实现了薄膜对凹凸不平的表面完美的包覆，并以自组装排列的水滴为模板，成功 构筑了三维有序的SiS多孔薄膜。为了提高图案化薄膜的结构稳定性，我们采用 一氯化硫(S2C12)气相交联法，将线形的聚合物分子链连接成类似硫化橡胶的 网络状大分子结构。结果证明，溶解去除糖颗粒模板后，聚合物薄膜上多孔结构 的耐热性可以达到350℃，比未交联的薄膜提高了近300K，在一系列SiS的良 溶剂中，薄膜上的多孔结构也可以得到很好的保留。沿着薄膜的Z轴自上而下， 通过分析相应区域的微观结构，证明了呼吸图过程中水滴从成核到生长最后自组 装排列的三阶段理论。利用刻有浮雕图案的硅片为基底，构筑了多级有序的SiS 多孔薄膜。 摘要 碳纳米管(carbon 管生长在具有特定电学性质的基底上，并尽可能实现对其生长位置、生长方向以 及阵列间的相互接触方式的控制。在本文中，我们利用静态呼吸图法，成功构筑 了一组具有串行接口形貌的碳纳米管阵列。采用聚苯乙烯．b．聚丙烯酸 有序杂化多孔膜，经过紫外光交联和热分解，得到预图案化的Fe203模板，在随 后的CVD法中，碳纳米管在模板骨架上的催化生长，使我们得到了呈蜂窝状图 案的碳纳米管阵列。进一步选用交联后的杂化膜为模板，由于Picketing乳液效 应，薄膜的孔壁修饰有大量的Cp2Fe。随后的CVD过程中，碳纳米管会选择性 生长在孔壁中，使我们得到了单束独立的碳纳米管阵列。我们希望这种简易的图 案化方法，可以进一步应用于图案化氮化硼纳米管阵列的制备。 关键词：三维图案化静态呼吸图嵌段聚合物多孔膜碳纳米管阵列 Ⅱ Abstract Abstract isof in areasofmodem paramountimportancemany scienceand Patterning the of technology,州tllapplicationsincludingproductionintegratedcircuits， information fluids devices，miniaturizedsensors，micro storage devices，biochips， diffractive photonicbandgapcrystals，microopt