钛酸锶的光发光和光催化研究及硅纳米柱制备探索.pdfVIP

复旦大学硕士论文 钛酸锶的光致发光及光催化研究及硅纳米柱制各探索 摘要 论文题目： 钛酸锶的光致发光和光催化研究及硅纳米柱制 备探索 复旦大学光科学与工程系 光学专业 2008届研究生李政皓指导老师 陆明 (教授) 摘 要 本论文主要包括三方面的工作，钛酸锶(SrTi03，以下简称STO)的光致发 光，STO的光催化性能，以及硅纳米点阵在HF酸电化学腐蚀形成Si纳米柱阵列 中所起的引导作用。 第一部分通过离子束溅射和HF酸腐蚀的方法对STO晶片的光致发光进行改 性，同时利用两者结合提高其发光强度。我们在真空系统中采用能量为1．5KeY IlA·cm-2的Ar+离子束对STO晶片进行轰击，通过改变溅射时 和束流密度为1000 间来调节离子束溅射剂量，然后测量不同溅射剂量下STO的室温光致发光PL谱。 实现结果表明，随着溅射剂量的增加，其发光强度先增加，在达到饱和强度后开 其PL强度迅速增强，腐蚀时间大约在lOOs时，PL强度渐趋饱和，其强度大概 是STO晶片原始强度的7．2倍。腐蚀30s后STO晶片的表面形貌(由原子力显微 镜AFM测得)结果显示HF腐蚀在表面形成了几十到几百纳米孔状结构。最后我 们用Ar+离子溅射和HF腐蚀相结合的办法提高其PL强度。首先把晶片溅射15 分钟，然后在HF溶液中浸泡3min，最终PL强度增强为原始样品的17．5倍。 第二部分工作是利用离子束溅射和HF腐蚀的办法提高STO在紫外和紫外一 IJAClll。2 可见光下的光催化能力。我们仍然采用能量为1．5KeY和束流密度为1000 的Ar+离子束对STO晶片进行轰击，通过改变溅射时间来调节离子束溅射剂量， 我们分别采用紫外灯和紫外灯加可见光源作为光催化光源，研究STO的光催化降 解亚甲基蓝的能力。实验结果表明，随着溅射剂量的增加，其紫外光催化能力先 增强后减弱，溅射～7分钟时，其光催化能力最强。我们还发现经过离子束溅射 7分钟的STO晶片在紫外一可见光下的催化能力明显高于紫外光催化能力，而单 独可见光辐照并不产生光催化效果。我们采用HF酸溶液(浓度HF：H。0=5％：95％) 对STO进行腐蚀发现也可有效增强其催化能力，腐蚀时间大约在lOOs时，催化 Ⅲ 复旦大学硕士论文 钛酸锶的光致发光及光催化研究及硅纳米柱制各探索 摘要 能力不再增强。最后，我们用Ar+离子束溅射结合HF酸腐蚀方法进一步提高STO 的光催化能力。 最后一部分工作是对Ar+离子束溅射致硅纳米点结构在HF酸腐蚀制备硅纳 米柱阵列中所起的引导作用的研究研究，我们将硅片放在HF酸中并加脉冲偏压 进行电化学腐蚀，通过改变腐蚀电流、腐蚀时间、腐蚀液浓度，以期在硅表面生 成硅纳米柱阵列，并获得了初步结果。 关键词：钛酸锶、离子束刻蚀、HF酸腐蚀、光致荧光、光催化、氧空位缺 陷、Si量子点、Si纳米柱阵列 复旦大学硕士论文 钛酸锶的光致发光及光催化研究及硅纳米柱制各探索 摘要 Abstract Thecontentofthisthesisconsistofthreemain arefocusedon topics parts，the ofmodulationofthe ofstrontium titanate(SrTi03， investigations photoluminescence