3.2电子显微基础(精简版).pdfVIP

2014/11/3 材料科学与工程学院材料科学与工程学院 现代分析测试技术 Modern technology of Analysis and Test 授课教师：张玉德 2014年11月3 日 1 一、电子与固体的相互 第三章 作用的物理信号 电子显微分析 二、电子与固体的相互 作用的物理本质 三、相互作用体积与信 号产生的深度和广度 第二节 电子显微基础 1 2014/11/3 一、电子与固体的相互作用的物理信号 电子束与物质相互作 用，可以产生背散射 电子、二次电子、吸 收电子、俄歇电子、 透射电子、荧光X射 线等各种信号。 利用这些信号可以进行透射电镜、扫描电镜、电子探针、 俄歇电子能谱、 X射线光电子能谱分析。 2014年11月3 日 3  1. 弹性散射电子 ——只关注能量 “原子核对电子的弹性散射”--→产生弹性散射电 子，其能量等于或接近入射电子的能量E0 。 从发生弹性散射 单次弹性散射电子 + 多次弹性散射电子 的次数来说： ① 一部分的总散射角＞90 °，从试样 从发生弹性散射 表面逸出－－弹性背散射电子 后，电子最终的 ② 一部分的方向改变小，在试样中继 去向来说： 续传播或从试样另一面透射（总之 没有从入射面逸出） 2014年11月3 日 4 2 2014/11/3  2. 背散射电子 ——只关注方向 被固体样品中的原子核反弹回来的一部分入射电子。包括弹 性背散射电子和非弹性背散射电子。 ① 弹性背散射电子：散射角＞90 °，能量接近 或等于E ，△E=0 背 0 散 射 ② 单次非弹性背散射电子：能量损失，但只损 电 失 一次， E与E0相差不多，△E小 子 ③ 多次非弹性背散射电子：能量损失，且损失 多次， E与E 相差多，△E大 0 2014年11月3 日 5 在背散射电子中，E≈E 的弹性背散射电子最多，其次是E稍 0 小的单次非弹，多次非弹非常少 。因此实际在试样上方接 收到的背散射电子是能量接近于E0 的弹性背散射电子占主 导地位。 2014年11月3 日