3.5扫描电子显微镜(精简版).pdfVIP

2014/11/3 材料科学与工程学院材料科学与工程学院 现代分析测试技术 Modern technology of Analysis and Test 授课教师：张玉德 2014年11月3 日 1 第三章 一、SEM的结构 二、SEM的特点及性能指标 电子显微分析 三、SEM的工作原理 四、SEM试样制备 五、SEM衬度及显微图像 第五节 六、SEM实验步骤 扫描电子显微镜 七、SEM的应用 1 2014/11/3 扫描电镜 Scanning Electron Microscope 2014年11月3 日 3 TEM SEM 2014年11月3 日 4 2 2014/11/3 一、扫描电镜的结构 • 电子光学系统： 统 系 像 成 • 扫描系统：扫描发生器、扫描线圈 • 信号收集系统：闪烁体、光导管、光电倍增管 • 图象显示和记录系统 • 真空系统 • 电气系统 2014年11月3 日 5 （一）电子光学系统 即镜筒：由电子枪、聚光镜、 物镜和样品室等部件组成。 作用：是将来自电子枪的电子 束聚焦成亮度高，直径小的 入射束来轰击样品，使样品 产生各种物理信号。 2014年11月3 日 6 3 2014/11/3 （二）成像系统 1. 扫描系统 扫描信号发生器、扫描放大控制器、扫描偏转 线圈组成。 作用：提供入射电子束在试样表面以及显像管 电子束在荧光屏上同步扫描的信号，通过改变 入射电子束在试样表面扫描的幅度，获得所需 放大倍数的扫描像。 2014年11月3 日 7 （二）成像系统 2.信号收集系统 • 物理信号： （1）电子信号，包括二次电子、背散射电子、 透射电子（电子收集器