石英基片精密干冰清洗效果的红外光谱差示法荡.pdfVIP

第 26卷第 11期 强 激 光 与 粒 子 束 Vo1．26，NO．11 2014年 11月 HIGH POW ER LASER AND PARTICLE BEAM S NOV．，2014 石英基片精密干冰清洗效果的红外光谱差示法 张 哲， 潘 峰， 唐 明， 陈松林 (成都精密光学工程研究中心，成都 610041) 摘 要 ： 使用红外透过差示光谱法 ，对低羟基石英基片上 的有机物吸收峰进行 了定量测量表征 。从理论 上研究了该方法的可行性和特点，并初步检验了该方法的灵敏度。利用这种手段采集了大量真空精密干冰清 洗石英基片的数据 ，统计发现这些数据能够体现一定的规律性 ：干冰清洗有机物 的效果与原始污染状况紧密联 系，某一时刻污染物越多，清洗效率越高 ；无机物或大颗粒 的混入会 降低有机物清洗效率 ；表面形态也能够影响 清洗效率 。这些成果证 明了该定量表征方法 的正确性和实用性 。实验过程和所得结论表 明，将清洗初始状态 控制在相对一致的状态下，是精密干冰清洗定量研究和工程化参数优化的一个重要因素。 关键词： 红外光谱 ； 干冰清洗； 差示光谱法； 傅里叶变换光谱仪； 光学镀膜 中图分类号 ： TN305．97 文献标志码 ： A doi：10．11884／HPLPB201426．111011 随着半导体产业 、平板电视产业以及高激光损伤阈值元器件等技术的发展。高水平的镀膜产品对基底和最 终样品清洗 的要求 日渐提高。由基底污染产生的产品缺陷，对镀膜产品的成品率和局部质量产生着重大影 响 。]。显微镜手擦法虽然能达到极好的效果，但效率极低且受人为影响较大，无法应用于产业。已用于产业 的化学湿式清洗方法对微纳颗粒物效果不佳，存在洗涤剂残留和清洗玻璃时的空化伤害等问题。如果继续提 高湿式清洗的效果 ，水 电消耗和污染排放等代价过大。由此 ，下一代镀膜工艺寻求新的清洗方式 ，而精密干冰 清洗被认为是有力的候选者_3 j。 在光学石英基片清洗研究中，表面洁净程度的表征方法一直是一个突出的难题 。首先 ，干式清洗法没有类 似湿式清洗法检查清洗液成分的间接测量方案，只能直接测量样 品本身；其次，与硅晶圆等单质晶体表面不同， 抛光后的石英基片表面的物质构成、化学配 比等较为复杂，难以定义要求较高的 “洁净表面”；最后，昂贵、缓慢、 接触等测量方式均不适用于需要大量数据的研究和工艺优化。现有文献的一种常见解决方案是 ，将污染并不 严格地分类为颗粒污染和有机物污染 ，并分别对其进行研究。其中对有机物的定量表征多依赖 X射线光 电子 能谱分析 (XPS)[3 lo3和接触角仪_2’453。XPS通过测量 C元素含量代替有机物。但该方法存在两个问题 ：穿 透能力较弱 ，无法准确定量有一定厚度的有机物 ；测量灵敏度不高，最少只能测量到物质的量含量在千分位的 物质。接触角仪实际测量的是固一液界面表面张力变化 ，物理上与有机物含量没有对应关系 ，不能用于有机物 的定量分析。有机物只是改变表面张力的因素之一 ，既可以增大张力 ，也可 以降低张力，因此将接触角数据与 有机物的多寡相关联是不正确的。 以往的文献提出了一些干冰清洗有机物理论_3 ，但受限于表征方法大多不适合定量研究有机物，未能总 结出可靠的规律，因而无法解释另一些文献中相关实验结果存在的较大差异 u6=。本文使用红外透过差示光谱 法对有机物的亚 甲基 2922cm 吸收峰进行定量测量，利用其吸收强度来表征有机物的量，以定量研究精密干 冰清洗规律和清洗效果。 1 实验方法 1．1 红外差示光谱法的理论依据 红外测量定量分析的依据是郎伯一比尔 (Lamber—Beer)定律口 ]。比尔定律及其应用的物理前提是光谱加 和性 ：当一束平行单色光垂直通过均匀}昆合非散射的吸光物质时，其中各组分的吸收系数 a不因物质浓度c发 生改变，且总吸光度是各个组分的算术叠加。此时其中每种物质的吸光度 A—lg(1／丁)一ahc (1) *收稿 日期 ：2014—03—23； 修订 日期 ：2014-08—23 基金项 目：国家高技术发展计划