石英摆片激光切割技术研究速.pdfVIP

第 2卷 第 3期 导航定位与授时 Vo1．2No．3 2015年 5月 NavigationPositioning＆ Timing Mav2015 石英摆片激光切割技术研究 秦淑斌，袁 枫，江安然 (航天科工惯性技术有限公司，北京 100074) 摘 要：针对激光切割技术在典型石英结构——加速度计摆片加工成形中的应用，探讨了激光 与石英材料的作用机理，进行了激光切割成形以及消应力试验。在此基础上详细分析 了激光切 割工艺参数和后处理对石英摆片成形质量的影响，对精密石英结构的制造具有普遍的意义。 关键词：石英摆片；激光切割；加速度计 中图分类号：TG485 文献标志码 ：A 文章编号：2095．8110(2015)03-0102—06 StudyofLaserCuttingTechniqueforFlexureProcessedfrom Quartz QINShu—bin，YUANFeng，JIANGAn—ran (AerospaceScienceandIndustryInertialTechnologyCo．，Ltd．，Beijing100074，China) Abstract：Thispaperfocusesontheapplicationoflasercuttingtechniqueinthetypicalquartzstructureofflexureofquartz flexibleaccelerometer．Thereactionmechanism oflaserandquartzisdiscussed．Basedonthemanufactureexperimentsofa flexurefrom lasercutting，theinfluenceoftechnologicalparametertothequalityofflexureisanalyzed．Thestressrelaxation ofquartzafterlasercuttingisalsodiscussed． Keywords：Flexure；Lasercutting；Accelerometer 工中的可行性；MatthewsM．J．8等研究了激光与 0 引言 石英玻璃 的相互作用，探讨 了热应 力 的产生 激光技术在材料加工领域有广泛的应用，如 机理 。 激光切割、打孑L_1]、激光辅助化学刻蚀l2]、3D 石英摆片是典型的惯性传感器用石英器件， 打印增材加工E31等。石英属于典型 的硬脆性材 具有形状复杂，精度要求高的特点。其镂空结构 料 ，惯性传感器如石英挠性加速度计、石英振梁 图形如图1所示，通常采用超声落料或喷砂等机械 加速度计等均采用精密石英结构作为其关键的敏 磨削的方法进行加工，加工断面粗糙度大，加工 感单元 4]。近年来，激光技术在石英材料加工中 效率低 ]。本文针对石英摆片镂空结构的激光加 的应用开展了大量理论和实验研究。张广玉_5J、 工技术，探讨 了激光与石英材料的作用机理，进 焦俊科_6]等研究了激光切害功率、材料厚度、光 行了摆片的激光切割成形 以及后处理试验 。在此 束质量等石英材料的激光切割模型；袁明权 |7]等 基础上详细分析了激光切割工艺参数和后处理对 从石英玻璃光学透过率特性角度讨论了激光精密