砷化镓单片微波电路电容、电感传输线的三维电磁场建模分析.pdf

摘婴 摘要 随着无线通信产业的发展，人们对无线通信产品在尺寸、速度、功耗、价格上提出了越来 越高的要求。在市场的推动下，砷化镓射频集成电路的研究已成为近年来产业界和学术界关注 的热点。无源器件作为射频集成电路I|l不可缺少的部件，受到越来越多的关注。随着系统工作 频率和系统性能要求的提高，对丁-无源器件的性能和模型精度的要求也越来越高。无源{}}}1：，|：的 设计和应用，直接影响到电路的整体性能。如何实现高性能的片上螺旋电感，成为射频集成电 路的研究重点。 本论文采用电磁场(EM)建模的分析方法，在0．5．20GHz的频率范围内提取了砷化镓衬底 一hMIM电容、方形螺旋电感和微带传输线的等效电路模型，该模型充分考虑了衬底损耗、趋 肤效应、接近效应等因素对无源器件特性的影响，使用台湾宏捷科技(AWSC)21am截止频率 为29．5GHz的lnGaP／GaAsHBTI艺，进行了螺旋电感和MIM电容的样片流片。利用安捷伦 Microtech微波探针台搭建了在片测量系统，对该 (Agilent)矢量网络分析仪N5230C和Cascade 螺旋电感和MIM电容进行了测试，并采用了两种去除电路寄生参数的剥离方法，分析了高频 条件下各种测试寄生参量的影响。 通过和实际测量的结果进行对比，证明了在相当宽的频带范围内该方法与测试数据的准确 性和有效性。同时，把EM仿真结果应用在一种兀型匹配电路的设计中，结论表明，对无源器件 应用EM建模的方法提高了射频／微波集成电路设计的性能和效率。这种方法可用于射频和微波 集成电路的设计，从而提高电路设计的性能和效率。 关键词：砷化镓衬底，螺旋电感，MIM电容，微带传输线，EM，等效电路模型 Abstract Abstract Withthe ofwirelesscommunication havemoredemandson development industry,people the ofwireless the ofthe dimension，speed，powerconsumption products．Recently,withpush commercial onradio becomehot market，studies frequencyintegratedcircuits(RFlCs)have very and areain academia．Aselementsin deviceshavedrawnmuch industry important RFICs，passive more in attention．The and are achieved，the improvementssystemperformanceoperatingfrequency demandson of devicesandmodel will higher performancepassive be accuracy howtorealize