多通道石英微天的设计优化和实验研究.pdf

摘要 Ysls吣 注： CrystalMicrobalance)以下均简写为QCM 1、石英微天平(Quartz QuartzCrystal 2、多通道石英微天平(Multichannel 均简写为MQCM 为适应传感器的阵列化、微型化的发展趋势，人们已在QCM的基础上提出MQCM 的概念。由于MQCM有优良的稳定性、极高的灵敏度，所以受到广泛的重视，几年 来国内外已报道了大量这方面的研究成果。MQCM作为一种微型机械，首要问题就 是要一种优化的设计方案。由于MQCM是在同一块晶片上集成好几个谐振元，所以 在设计中将面临如何选取谐振元尺寸以及谐振元的位置等诸多问题。 本文主要研究的方向是MQCM的设计优化，主要工作集中在MQCM的谐振元振动 耦合问题研究。具体作了以下几项工作。(1)首先对当今世界范围内在MQCM这一 领域的研究及应用状况进行了全面的介绍．(2)继而在MQCM的谐振元振动耦合数 值计算方面，利用有限元方法，对MQCM的振动耦合进行了计算。本文利用二维明 德林方程组，考虑了吸附质量，使用圆形谐振元的MQCM模型，对振动耦合问题进 行了计算，得到一些有意义的结论。解释了振动耦合现象的内在机理，指出了谐振 元大小、高度差、谐振元间距离、谐振元凸出高度以及谐振元排布方向都能很大程 度上地影响MQCM的振元耦合及灵敏度的结论．总结出了减小振动耦合强度的方法， 件加工过程中用到的各种工艺，介绍了作者自行设计加工的MQCM元件。对这套元 件进行了初步的实验研究，观察了振动耦合的电气性能和振动耦合对石英片谐振频 率的影响，以及不同谐振元尺寸对振动耦合的影响。利用石英谐振器的等效电路方 法对振动耦舍问题作了分析，总结了振动耦合的谐振元的等效电路，为进一步的 MQCM的分析和设计工作提供了实验基础． 关键词：多通道石英微天平(MQCM)，石英微天平(QcM)，振动耦合，谐振元， 等效电路 Abstract AT—cut inthicknessshearmodeare quartzcrystalresonators(QCM)vibrating to the of usedmonitor thin ontheir physicalpropertieslayers widely deposited surfaces multichannel been Recently，the quartzcrystal of whichaccommodatesthecurrentsensormicromationand reported isasensor withmulti—channelQcMfabricatedonamonolithic array quartz crystal as has meritssuch and soithas MQCM high plate．The many sensitivitygoodstability