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《用于半导体激光打标机的谐衍射_折射f-theta镜》.pdf
第36卷第8期 光 子 学 报 V01.36No.8
2007年8月 SINICA 2007
ACTAPH()T()N1CA August
用于半导体激光打标机的谐衍射/折射户theta镜*
吴环宝1,王肇圻1,傅汝廉1,孙强2
(1南开大学现代光学研究所光电信息技术科学教育部重点实验室,天津300071)
(2长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验寰,长春130033)
摘要:根据半导体激光器发射波长的范围和谐衍射透镜的特点,讨论了含有谐衍射光学元件的混
合,二theta镜的设计.将谐衍射面型引入到半导体激光器及Nd:YAG激光器打标镜的设计中,使
用普通的光学材料,使系统在o.8一1.5扯m波段内很好地校正了各种单色像差和色差,在各个分立
波长上系统的光学传递函数接近或达到衍射极限.系统结构紧凑、片数少、兼容性好、具有良好的像
差特性,适用于半导体激光器及Nd:YAG激光器打标系统.
关键词:产theta镜;谐衍射;双波段;光学设计
中图分类号:TH74 文献标识码:A 文章编号:1004—4213(2007)08一1435—4
0 引言 系统的体积和质量以及降低成本等诸多方面表现出传
统光学系统不可比拟的优势.本文取半导体激光器波
近年来,随着激光技术的迅速发展,激光打标技 长范围o.80~1.50“m和谐衍射透镜色散大小可以控
术也有了长足的进步,并以其标记速度快、字迹清 制的特点,讨论了含有谐衍射光学元件的双波段∽12I混
晰、防伪功能强、成本低、污染小等优点,成为激光加
工中最大应用领域之一.,乙theta透镜¨副是激光打段和1.15~1.5“m波段,成像质量接近衍射极限,适
标机中的重要部件.当前国内用于打标的激光器主 用于半导体激光及Nd:YAG激光打标机的折射/谐
要有C()。激光器、Nd:YAG激光器和半导体激光
衍射/二theta镜系统,系统具有体积小、准确度和分辨
器,其中半导体激光器以其易于使用和维修、运行费 率高的优点.
用低等优点受到人们关注.目前国内外有多家公司
从事厂-theta透镜系统的研究开发,并且形成了自1谐衍射/折射产theta镜设计理论
己的产品系列,但是这些产品都只适用于某一波长. 1.1谐衍射成像理论
当更换工作物质时,由于其吸收系数的改变,需要更 衍射透镜焦平面上的能量分布可看作光线通过
换对该物质吸收系数较大波长的激光器,同时也需 各闪耀环带后在焦平面干涉的结果.若使用波长为
要更换厂-theta镜头.为了减小生产成本,增加系统
A,则其焦距为
的稳定性,设计可以应用于多波长的/二theta镜系
/j一竿,’。 (1)
统具有现实意义….这就需要对系统进行消色差以 ^
及像差校正以获得良好的光学性能.但是传统的折 式中A。为设计波长,/’。为设计波长的焦距.
射系统必须依靠负透镜来消除色差,或使用稀有特 与普通的衍射透镜相比较,HDE环带间光程差
殊色散的材料来设计系统.这样的系统往往体积大、 为纵。,不是Ao,相当于设计波长为埘。,焦距为^
J. 的特殊透镜.若对使用波长为A的m级次成像,则
成本高、像差校正也不理想口。7
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