《用于半导体激光打标机的谐衍射_折射f-theta镜》.pdf

第36卷第8期 光 子 学 报 V01．36No．8 2007年8月 SINICA 2007 ACTAPH()T()N1CA August 用于半导体激光打标机的谐衍射／折射户theta镜* 吴环宝1，王肇圻1，傅汝廉1，孙强2 (1南开大学现代光学研究所光电信息技术科学教育部重点实验室，天津300071) (2长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验寰，长春130033) 摘要：根据半导体激光器发射波长的范围和谐衍射透镜的特点，讨论了含有谐衍射光学元件的混 合，二theta镜的设计．将谐衍射面型引入到半导体激光器及Nd：YAG激光器打标镜的设计中，使 用普通的光学材料，使系统在o．8一1．5扯m波段内很好地校正了各种单色像差和色差，在各个分立 波长上系统的光学传递函数接近或达到衍射极限．系统结构紧凑、片数少、兼容性好、具有良好的像 差特性，适用于半导体激光器及Nd：YAG激光器打标系统． 关键词：产theta镜；谐衍射；双波段；光学设计 中图分类号：TH74 文献标识码：A 文章编号：1004—4213(2007)08一1435—4 0 引言 系统的体积和质量以及降低成本等诸多方面表现出传 统光学系统不可比拟的优势．本文取半导体激光器波 近年来，随着激光技术的迅速发展，激光打标技 长范围o．80～1．50“m和谐衍射透镜色散大小可以控 术也有了长足的进步，并以其标记速度快、字迹清 制的特点，讨论了含有谐衍射光学元件的双波段∽12I混 晰、防伪功能强、成本低、污染小等优点，成为激光加 工中最大应用领域之一．，乙theta透镜¨副是激光打段和1．15～1．5“m波段，成像质量接近衍射极限，适 标机中的重要部件．当前国内用于打标的激光器主 用于半导体激光及Nd：YAG激光打标机的折射／谐 要有C()。激光器、Nd：YAG激光器和半导体激光 衍射／二theta镜系统，系统具有体积小、准确度和分辨 器，其中半导体激光器以其易于使用和维修、运行费 率高的优点． 用低等优点受到人们关注．目前国内外有多家公司 从事厂-theta透镜系统的研究开发，并且形成了自1谐衍射／折射产theta镜设计理论 己的产品系列，但是这些产品都只适用于某一波长． 1．1谐衍射成像理论 当更换工作物质时，由于其吸收系数的改变，需要更 衍射透镜焦平面上的能量分布可看作光线通过 换对该物质吸收系数较大波长的激光器，同时也需 各闪耀环带后在焦平面干涉的结果．若使用波长为 要更换厂-theta镜头．为了减小生产成本，增加系统 A，则其焦距为 的稳定性，设计可以应用于多波长的／二theta镜系 ／j一竿，’。 (1) 统具有现实意义…．这就需要对系统进行消色差以 ^ 及像差校正以获得良好的光学性能．但是传统的折 式中A。为设计波长，／’。为设计波长的焦距． 射系统必须依靠负透镜来消除色差，或使用稀有特 与普通的衍射透镜相比较，HDE环带间光程差 殊色散的材料来设计系统．这样的系统往往体积大、 为纵。，不是Ao，相当于设计波长为埘。，焦距为^ J． 的特殊透镜．若对使用波长为A的m级次成像，则 成本高、像差校正也不理想口。7