电子显微镜(Scanning Electron Microscope)基础知识.docVIP

扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope)基础知识 ?xjH实验测试信息网 ??? ?粒，成像信号可以是二次电子、背散射电子或吸收电子。其中二次电子是最主要?的成像信号。由电子枪发射的能量为 5 ～ 35keV 的电子，以其交?叉斑作为电子源，经二级聚光镜及物镜的缩小形成具有一定能量、一定束流强度?和束斑直径的微细电子束，在扫描线圈驱动下，于试样表面按一定时间、空间顺?序作栅网式扫描。聚焦电子束与试样相互作用，产生二次电子发射（以及其它物?理信号），二次电子发射量随试样表面形貌而变化。二次电子信号被探测器收集?转换成电讯号，经视频放大后输入到显像管栅极，调制与入射电子束同步扫描的?显像管亮度，得到反映试样表面形貌的二次电子像。xjH实验测试信息网 　?　xjH实验测试信息网 xjH实验测试信息网 (1) 0 ～ 30mm的大块试样(在半导体工业可以观察更大直径)，制样方法简单。xjH实验测试信息网 (2) xjH实验测试信息网 (3) 15 ～ 200000 倍，对于多相、多组成的非均匀材料便于低倍下的普查和高倍下的观察分析。xjH实验测试信息网 (4) 3.5 ～ 6nm。xjH实验测试信息网 (5) xjH实验测试信息网 (6) X 射线谱仪配接，可在观察形貌的同时进行微区成分分析；配有光学显微镜和单色仪等附件时，可观察阴极荧光图像和进行阴