薄膜参数测定新方法.pdfVIP

维普资讯 ￡『 第l7喜第3期 仪 器 仪 表 学 报 voI．17№3 薄膜参数测定新方法 各晋骐 辑丽英 8f}； (天津大学应用物理系) (清华大学现代应用物理系) 摘要 该方法的特点是一次测量可确定两种波长下(O．63g．3．39g)薄膜的三个光学参数 ：折 射率、吸收系浆、厚度，并可利用两种波长下所测薄膜厚度必须相等来检验测量结果的正确性。 关键词兰璧，燮 ， 叶定 0 引 言 标志薄膜物理性质的光学参数是薄膜的折射率、吸收系数和厚度 。目前常用的测膜仪器 (如椭偏仪 )都不可能一次测量得到薄膜的三个光学参数 我们的方法不仅可 以一次测量确定 薄膜的三个光学参数，而且可 以一次调整光路测出两种渡长下 (0．63tt，3．39t~)薄膜的三个光 学参数 ，从而可了解薄膜在这一波段的色散信息。 1 原 理 图1中E、E 为一束平面单色光的TE渡通过分束镜分为两束相干光的电矢量，相应的 透射光、反射光以及它们之间的干涉光的电矢量符号均如图 1所示。设图中1、3、4三个区域 皆 为无吸收的均匀介质。若两束光的入射角分别为0、吼，这时相应介质的光学导纳为 P，=n，cos0， (1) 若r和 t，代表样品的复反射系数和复透射系数，则 由图 1可见 ： EIl—flE】= lr1；exp(icp1)El (2) EIj—t】E1一 lt】{exp(ix】)E1 (3) Eaa—raE3一lf3lexp(icp3)Ea (4) E31一t3E3一lt3lexp(ix3)E3 (5) 膜层两侧的输出光的电矢量 E 和E 分别为相应的反射光与透射光 电矢量的迭加 ： E l— EIl+EaI— rIE】+t3E3 (6) * 本文于 1994年 12月收到 维普资讯 286 仪 器 仪 表 学 报 第 l7卷 E 3一E33+El3一fE3+ tLE】 (7) 其中Et及 是两束相干光的电矢量．总可 以有如下关系 E3一≮exp(曲)El (8) 其 中 ≮和 为实数。将式 (8)代入 (6)、(7)，于是 ： El= [r】+t3≮exp(冲)]El (9) Ea一 [r3 xp(i )+t]El (10) 光波的能源密度为 I-- IEI … ) 日 式 (11)中．c为光速 ．u口为真空中的磁导率，则 (9)、(1O) 两式表示的输出光的强度为 t= 麦 Clrt}。+≮ft。I+21ft11t。1 图l被测洋品及测量光束 0s(一x| l+ )]IE．I (12)