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溶液处理ZnO纳米火炬阵列薄膜的制备及其气敏性能研究
4 1 1
第 卷 第 期 ( ) 2011 2
山 东 大 学 学 报 工 学 版 年 月
Vol． 4 1 No ． 1 JOURNAL OF SHANDONG UNIVERSITY (ENGINEERING SCIENCE) Feb． 2011
文章编号:1672-3961 (20 11)0 1-0066-05
溶液处理ZnO 纳米火炬阵列薄膜的
制备及其气敏性能研究
*
， ， ， ，
刘哲 田守勤 王博 曾大文 谢长生
( ， 430074)
华中科技大学材料科学与工程学院 湖北武汉
: ZnO ，
摘要 利用晶种生长和溶液处理相结合的方法在气敏元件表面制备出了 纳米火炬阵列薄膜 该方法在低温下
， 。 XRD ， ZnO ;
进行 对环境友好且能耗低 对制得的薄膜进行 表征 结果表明其主要物相为纤锌矿 并对该薄膜进行
FESEM ， ZnO ， 5 m ， 2 m ， 200 nm ， 、 。
表征 发现该 纳米火炬呈中空形貌 高 μ 外径 μ 壁厚约 且大小均一 排列有序 这些
20 nm ZnO 。 ZnO
纳米火炬都是由粒径 左右的更细小的 粒子组装而成 此外还讨论了 纳米火炬结构的可能生长机
。 ZnO ， ZnO
理 最后对这种 纳米火炬阵列薄膜进行了乙醇的气敏性能测试 并与纳米棒和纳米墙等已知形貌的 纳
， ZnO 。
米材料相比较 结果表明纳米火炬结构的 纳米材料具有更优良的气敏性能
:ZnO ; ; ; ;
关键词 纳米火炬 形貌控制 晶种生长 溶液处理 气敏性能
中图分类号:O611. 62 文献标志码:A
Study of the preparation of ZnO nanotorch-array thin film
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