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2015-11-11 发布于河南
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《Edge effect of optical surfacing process with different data extension algorithms》.pdf

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Front．Optoelectron．2014，7(1)：7783 D0I10．1007／s12200．014．0393—7 Edgeeffectofopticalsurfacingprocesswithdifferentdata extensionalgorithms YangLIU ，HaoboCHENG(函)，ZhichaoDONG ，Hon．YuenTAM 1SchoolofOptoelectronics，BeijingInstituteofTechnology,Beijing100081，China 2DepartmentofM echanicalandBiomedicalEngineering，CityUniversityofHongKong，HongKong，China ◎ HigherEducationPressandSpringer-VerlagBerlinHeidelberg2014 Abstract Thisstudypresentsastrategywhichintegrates Many researchesaboutthe edge effecthave been extrapolishingpath(EPP)anderrormaDextensionto presentedanddevelopedathomeandabroad．Jones4『] weakentheedgeefrectintheultrapreciseopticalsurfacing suggesteda linearpressure distributionmodeland the process．Differentd．ataextension algorithmswerepre— orl：Iitaltoolmotionincomputercontrolledpolishingwith sentedandanalyzed．TheneighbOr_hOOdaveragecanbe smal1toolsfiguringinl986．AndZhangeta1．5『]presented selectedastherfequently—usedmethod．asithasnotbad themodifiedfunctionofdwel1time(e…g increasingthe precision andtime—savingperformanceformostsurface dwellingtime)toimprovetheedgeremovalprofile．Luna． formsthroughthesimulationresultsandpractica1experi— Aguilareta1．6『1andCordero．Dfivilaeta1．7『1pointedouta ment．ThefinalerrormaDwasobtained，itspeak—to．valley nonlinearpressuredistributionfbetweenthetoolandthe was0．2732androotmeansquare(riMS)was0．0282 workpiece)．1ikeaskineffectneartheedge—sideofthe = 632．8rim)．Theedgeeffectwasweakened and workpiecewhichavoidedthenegativepressureproblem suppressedwellthroughtheexperiment． wel1．Furthermore，Kim eta1． 3『]provided a new paramet订cmodelbasedonmeasured databyredefining Keywords edge effect， convergence rate， extension thePreston coefficient，which isalwaysregardedasa algorithms