《多芯片半导体激光器光纤耦合设计》.pdfVIP

第 卷第 期 强 激 光 与 粒 子 束 ， ２６ ３ Ｖｏｌ．２６ Ｎｏ．３ 　 　 年 月 ， ２０１４ ３ ＨＩＧＨ ＰＯＷＥＲＬＡＳＥＲＡＮＤＰＡＲＴＩＣＬＥＢＥＡＭＳ Ｍａｒ． ２０１４ 　 　 多芯片半导体激光器光纤耦合设计 周泽鹏， 高 欣， 薄报学， 王云华， 周 路， 王 文， 许留洋 　 　 　 　 　 　 　 　 　 （长春理工大学 高功率半导体激光国家重点实验室，长春 １３００２２） 摘 要： 应用 光学设计软件模拟了一种多芯片半导体激光器光纤耦合模块，将 支 单 ＺＥＭＡＸ １２ ８０８ｎｍ 　　 　 　 芯片半导体激光器输出光束耦合进数值孔径 ０．２２、纤芯直径 １０５ ｍ的光纤中，每支半导体激光器功率 １０Ｗ， μ ２ 光纤输出端面功率达到 ，光纤耦合效率达到 ，亮度达到 ／（ · ）。通过 １１６．８４Ｗ ９７．３６％ ８．８８ＭＷ ｃｍ ｓｒ ＺＥＭ 和 软件分析了光纤对接出现误差以及单芯片半导体激光器安装出现误差时对光纤耦合效率的影 ＡＸ ＯＲＩＧＩＮ 响，得出误差对光纤耦合效率影响的严重程度从大到小分别为垂轴误差、轴向误差、角向误差。 关键词： 半导体激光器； 光纤耦合； 误差分析 　　 　 　 　 中图分类号： 文献标志码： ： ／ ＴＮ２４８．４ Ａ 犱狅犻１０．３７８８ＨＰＬＰＢ２０１４２６．０３１０１３ 　　 　 　　　　 　 　　 自１９６２年世界第一台半导体激光器发明问世以来，半导体激光器发生了巨大的变化，极大地推动了其他 　　 ［］ １ 科学技术的发展 。半导体激光器具有效率高、体积小、可靠性好等优点，因而在许多行业突显出优势。随着 ［］ ２ 光电子技术的快速发展，半导体激光器在生产、生活方面有着广泛的应用 。和其他激光器相比，单芯片半导 ［］ ３ 体激光器最大的缺点就是光束质量差 。由于单芯片半导体激光器固有结构的特点，大功率单芯片半导体激 光器的光束参量积在快慢轴方向相差较大，输出光能量不集中，远场光强分布不均匀，很难用普通的光学系统