《基于无源超高频射频识别标签的湿度传感器设计》.pdfVIP

物 理学报 ActaPhys．Sin．Vo1．63，No．18(2014) 188402 基于无源超高频射频识别标签的湿度传感器设计冰 邓芳明1)2)十 何怡刚 ) 佐磊 ) 李兵 ) 吴可汗 ) 1)(合肥工业大学电气与自动化工程学院，合肥 290009) 2)(华东交通大学电气与电子工程学院，南昌 330013) (2014年4月1日收到；2014年5月20日收到修改稿) 针对无源超高频射频识别传感器标签大规模运用的需求，采用中芯国际0．35岫 互补金属氧化物半导体 (CM0S)工艺设计并制造了一种低成本、低功耗的湿度传感器．湿度传感器单元采用聚酰亚胺作为感湿材料， 利用顶层金属层制作叉指结构 电极，制造过程与标准CM0S制造工序兼容，无需任何后处理工艺．接 口电路 部分基于锁相环原理，采用全数字电容 数字直接转换结构，能够工作在接近工艺阈值电压下．后期测试结果 显示，该湿度传感器在常温下灵敏度为36．5fF％RH，最大回滞偏差为7％，响应时间为20ms，0．6V电源电压 下消耗2．1 功率． 关键词：湿度传感器，电容式传感器接 口电路，锁相环，射频识别 PACS：84．40．—x．07．07．Df DOI：10．7498／aps．63．188402 定直流 电压信号．上 电复位电路为接 口电路提供复 1 引 言 位信号．传感器信号经接 口电路转换为数字信号， 此数字信号经调制电路转换为超高频调制信号并 射频识别 (RFID)技术作为一种先进的自动识 通过天线反射发送回阅读器．由此工作原理可知， 别和数据采集技术，被公认为是21世纪最有发展 无源标签工作的能量来源于阅读器，因此低功耗是 前途的信息技术之一，己经成功地应用到生产制 无源标签设计 中最重要的性能指标，无源标签的功 造、物流管理、公共安全等各个领域 【，．一般来 耗越低，无线工作的距离越大． 说，RFID系统可 以分为有源和无源两类．由于无 源RFID标签无须 内置 电源供 电，成本低且灵活性 强，因此更广泛地用于实际生产和生活中[3-51．近 年来，得益于微 电子技术的发展，在无源RFID标 签 中集成传感器功能的研究成为一种趋势 6【_g]． RFID传感器标签不仅拓宽了RFID标签的应用范 围，而且有利于降低系统成本、减小电路面积及提 高系统稳定性． 图1为一典型无源超高频 (UHF1RFID传感 图 1 无源UHFRFID传感器标签原理 器标签原理图．天线将RFID阅读器所发出的无线 信号接收进入标签，且通过匹配网络达到最佳接收 湿度传感器被广泛应用于环境检测、工艺控 状态．接收的无线信号经整流电路与稳压电路，转 制、食品生产、生物 电子及制药中[10]．湿度传感器 换成接 口电路和上电复位 电路正常工作所需的稳 通常检测的是相对湿度而不是绝对湿度．相对湿度 国家杰出青年科学基金 (批准号、国防科技预研项 目(批准号：Cl120110004)、教育部科学技术研究重大项目基金 (批准 号：313018)和安徽省科技计划重点项目(批准号：1301022036)资助的课题． 十通讯作者．E．mail163．corn ◎2014中国物理学会ChinesePhysicalSociety t ：／／／wulixb．hy．ac．c他 物 理 学报 ActaPh