化爆材料动态切温度的薄膜热电偶测量原理及传感器研制.pdf

摘 要 摘 要 加工及仿真技术研究。本文主要研究其中化爆材料(炸药件)动态切削温度与切削力测 试系统部分。研制的分刀片式半人工热电偶及薄膜热电偶两套动态测温测力系统均已经 通过使用单位的验收并投入使用。 切削化爆材料过程中，由于化爆材料的不均匀性，其内部随机分布硬质点，当切到 某个硬质点时，或由于切削变形和振动等原因，会突然产生大量的切削热而使工件出现 瞬时高温脉冲，当这一瞬时高温超出一定的范围时，会引爆工件而发生重大恶性事故。 因此快速而准确地测量化爆材料的动态切削温度对国防军工部门的安全、高效生产有重 大的意义。 切削温度测量广泛使用的是自然热电偶法。但当被加工材料是非金属时，就不能用 自然热电偶法测量切削温度。也不宣采用在刀具内埋置人工热电偶的方法，因为埋置热 电偶时，热电偶接点与刀尖多少有些距离，而刀尖处的温度梯度较大，因而不能直接测 量工件的温度。由于切削化爆材料时要加冷却液，因此也不适合采用非接触的红外测温 法。针对化爆材料切削的特点，本文研制出了一种将切削与测温功能集成于一体的新型 分刀片式半人工热电偶及薄膜式热电偶快速温度传感器，在切削化爆材料的同时可以进 行动态切削温度的测量。主要研究内容具体包括： 制作与安装；在测温范围0*C一600℃内静态标定半人工热电偶，得出热电偶的灵敏度不 1．t 低于蹄12．9V／℃，满量程非线性误差小于013％；采用快速投掷法动态标定了半人工 热电偶，根据其阶跃响应曲线计算出其时间常数r为12．5ms。 I型半人工热电偶冷端温度补偿与输出信号放大处理器；设计 (2)研制LC-EX一03 化爆材料动态切削温度与切削力测试系统，引入相位超前校正网络后整个测试系统的时 间常数r减小到1．94ms；分析得到测试系统的相对测温误差小于2．13％，重复性误差在 1％以内。 (3)采用微波电子回旋加速共振产生等离子体源增强射频反应非平衡磁控溅射技 术首次成功在W18Cr4V高速钢基底上沉积绝缘性能良好、致密均匀、具有正确化学配 比的Si02薄膜。通过大量的实验得出制备Si02薄膜的最佳工艺参数。 (4)对制备的Si02薄膜做了成分分析、三维形貌和二维形貌分析，并测量了Si02 薄膜的绝缘电阻、与高速钢基底的附着力、摩擦磨损性能及膜厚等。 (5)详述了薄膜热电偶的测温原理及薄膜尺寸效应；NicrNisi薄膜热电偶测温刀 头的结构设计、加工制作与安装；采用多弧离子镀方法在镀有绝缘膜的高速铜基体上制 uV／℃，满量程非线性误差小于O．32％。 热电偶，得出薄膜热电偶的灵敏度为5=-20．9 拍)建立薄膜热电偶理论传热学模型，推导出薄膜热电偶本身的时间常数r。 化爆材料动态切削温度的薄膜热电偶测量原理及传感嚣研制 (7)研制出抗干扰性能更好的LC—EX一03 II型冷端温度补偿及调理器；用可调Q值 的激光脉冲方法动态标定了整个薄膜热电偶测温系统的响应时间。测得的系统时间常数 f为O．8ms：分析得到测试系统的相对测温误差小于1．19％，重复性误差在1％以内。 (8)初步探索用微波电子回旋加速共振产生等离子体源增强射频非平衡磁控溅射技 术制备NiCr-NiSi热电偶薄膜。 (9)分刀片式半人工热电偶及薄膜热电偶测温刀头用于温度脉冲捕捉模拟切削实 验、化爆材料的正交切削实验、不同刀具参数的单因素对比切削实验。实验结果表明， 影响化爆材料切削温度最主要的因素是切削速度，其次是切削深度，再次是进给量；增 大刀具前角、刀尖角，减小刀具主偏角有益于降低化爆材料的切削温度。 (10)分刀片式半人工热电偶与薄膜热电偶测温刀头用于现场化爆材料的切削，整个 动态切削温度与切削力测试系统运行良好。 关键词：切削温度；薄膜热电偶；半人工热电偶：磁控溅射；离子镀：标定：切削实验 化爆材料 II AbstTact