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纳米级平面二维衍射光栅位移测量系统研究 Liu liang Department of Mechanical Engineering, Wuhan University Dec 28th , 2010 目录 课题题背景和意义 光栅位移测量的发展及国内外研究现状 课题的提出及主要完成工作 研究内容及研究计划 总结与展望 1.课题背景和意义 随着现代微科技的发展，研制定位精度高、测量范围大、运动平面度高的二维位移工作台，即X-Y移动工作台具有重要现实的意义。纳米级超精密定位技术的发展，不仅在精密测量、半导体光刻方面需要十分精确的定位和非常精细的运动，其他如微型机械、超精密加工、微型装配、生物细胞操纵和纳米技术等领域都需要精密工作台的协同运动，因此研制高性能的精密二维位移工作台成为当务之急。 精密二维位移工作台 高精度光栅尺 随着光栅加工技术的进步，光栅莫尔信号的质量得到了较大的提高，光电传感器件的发展也使光电转换信号能够更为真实地反映莫尔条纹信号 光栅作为精密测量的一种工具，已在精密仪器、坐标测量、精确定位、高精度精密加工等领域得到了广泛的应用。 国内外高精度光栅尺 针对现代这种需求现状，本课题结合大学自主科学交叉融合项目“基于柔性铰链的纳米操作并联机器人平台及其多控制器协同控制策略”以及2010年“机械传动国家重点实验室”开放基金“多自由度并联微型柔性力-位移传动机构的优化及其协