激光双频干涉仪实验.docVIP

实验十一 双频激光干涉议测试数控机床位移 精度及补偿实验 一、实验目的与要求 1．了解数控机床的传动结构。 2．了解双频激光干涉议的工作原理。 3．掌握双频激光干涉议的的使用方法。 4．掌握数控机床的定位精度、重复定位精度的测量方法。 5．掌握数控机床定位误差数据的处理方法。 6．掌握数控机床螺距误差单向和反向间隙的补偿方法，并验证补偿效果。 二、实验仪器与设备 1．HP5528A双频激光干涉议一台。 2．加工中心（VMC-850 FANUC）一台。 三、相关知识概述 1．数控机床进给传动装置的结构 在数控机床进给传动装置中，一般由电动机通过联轴器带动滚珠丝杠旋转，由滚珠丝杠螺母机构将回转运动转换为直线运动。 (1)滚珠丝杠螺母机构的结构滚珠丝杠螺母机构的工作原理如图1所示，1和螺母2上各加工有圆弧形螺旋槽，将它们。当4连接 (2)进给传动误差 ①螺距误差，即丝杠导程的实际值与理论值的偏差。例如PⅡ级滚珠丝杠的螺距公差为O012mm／300mm。 ②反向间隙，即丝杠和螺母无相对转动时，丝杠和螺母之间的最大窜动。由于丝杠和螺母之间α角，而螺母未移动，形成了反向间隙。2. 双频激光干涉仪的工作原理 双频激光干涉仪其双频激光测量系统由氦氖双频遥置激光干涉仪和电子实时分解系统所组成。它具有以下基本原理：如图2所示，激光双频干涉仪的氦氖激光管，在外加直流轴向磁场的作用下，产生f1和f2，旋向相反的两圆偏振光，经λ4波片变为线偏振光。λ/4玻片的旋转角度，使fl和f2的振动平面相互垂直，以互垂直，以作激光干涉λ/4波片 偏振分光境 基准锥体棱镜移动测量棱体仪的光源。当两个时(见图2)，大部分则由偏振分光境分成两束。f2全反射到与分光镜固定在一起的基准锥体棱镜上；偏振面在入射面fl则全部通过而射到移动测量棱体上。由这两个锥体棱镜反射回f1变成f +△f，所得到的信号是(f+△f)-f2。在可逆计数器中与参考信号(ff2)相减，棱镜每移动半个波长，光程变化是整个波长。测得的位移是l=λ/2×N，经计算机处理， 图11-3 位移量测量原理图 四、实验内容及步骤 1．使机床各轴回参考点 2．按图所示摆放仪器。 图11-4 激光干涉仪的使用示意图 3．决定反射镜（Linear retroreflector）安放位置，并固定在机床上。 4．选择透射镜（Interferometer）安放位置，使反射镜和透射镜保持在同一高度。 5．调整激光头使其与反射镜及透射镜保持在同一直线和同一高度。 6．接通激光头的电源，预热5分钟后，调整光路使反射光几乎全部进入激光头的入口。 7．移动机床，使其移动一个步距（从机械原点即零点计算起），按下〖〗〖〗μm）。 数控机床工作轴移动的尺寸填入下表： （1）实际测量工作台上给定点Pi沿运动轴向的运动定位误差(l,2,3,4,5)曲线图 数控机床工作移动的尺寸填入下表：负向移动 位置 起点坐标 P0 P1 P2 P3 P4 P5 位移尺寸（mm） 激光测量尺寸（mm） 误差值（um） 0 30 60 90 120 150（mm） 根据五个测量点的误差，计算平均误差，输入到数控机床参数的单向间隙补偿中。 （2）实际测量工作台上给定点Pi沿运动轴向的运动定位误差(l,2,3,4,5)曲线图 数控机床工作移动的尺寸填入下表：正向移动 位置 起点坐标 P0 P1 P2 P3 P4 P5 位移尺寸（mm） 激光测量尺寸（mm） 误差值（um） 0 30 60 90 120 150（mm） 根据五个测量点的误差，计算平均误差，输入到数控机床参数的反向间隙补偿中。 （3）实际测量工作台上给定点Pj沿Y运动轴向的运动定位误差l,2,3,4,5)曲线图 数控机床工作移动的尺寸填入下表：负向移动 位置 起点坐标 P0 P1 P2 P3 P4 P5 位移尺寸（mm） 激光测量尺寸（mm） 误差值（um） 0 30 60