LiNbO3波导电光A%2fD转换器技术的研究.doc

电子科技大学硕士论文  摘  要 本论文首先概述了电光 A/D 转换器的原理及发展概况，阐述了电光 A/D 转 换器相对于电 A/D 转换器的优点、研究意义和应用前景。简要介绍了电光 A/D 转换器的四大主流技术。分析比较了基于四大主流技术的电光 ADC 的结构和性 能，指出集成光学波导 A/D 转换器是电光 ADC 技术很有前景的方向之一。接下 来主要从四个方面对课题进行研究。 在分析了基于相位编码光采样的光学 ADC 和基于 OTDM、OWDM 及光脉 冲时域展宽技术的基础上的电光 ADC 后，本论文着重对相位调制技术进行了研 究。提出了一种新的电压加倍型的 Mach-Zehnder （简称 M-Z）干涉仪阵列结构 波导电光 A/D 方案，并从理论上分析计算了其性能特点，与 Taylor 电极加倍型 方案作了比较。 对电压加倍型的 M-Z 干涉仪阵列结构的波导电光 A/D 转换器进行了总体设 计。用 BPM 法和有效折射率法，着重对器件核心—M-Z 干涉仪阵列的波导、Y 分支及 M-Z 结构单元进行了设计，得出了关键的结构参数，设计出了波导的光 刻版图和电极的光刻版图。另外，对探测电路也进行了设计和制作。 M-Z 结构是本论文方案的核心结构，其波导质量直接影响整个 A/D 器件的 性能。因此，本论文着重对 X 切 Y 传 LiNbO3 波导制作工艺进行了研究，对具体 的工