硅微型多槽道平板热管的研究.doc

国内图书分类号：TK127.4 国际图书分类号：621.382 工学硕士学位论文 硅微型多槽道平板热管研究 硕 士 研 究 生： 辛欣 导 师： 刘晓为 教授 申 请 学 位： 工学硕士 学 科 、 专 业： 微电子学与固体电子学 所 在 单 位： 微电子科学与技术系 答 辩 日 期： 2007 年 7 月 6 日 授予学位单位： 哈尔滨工业大学 Classified Index: TK127.4 U.D.C: 621.382 Dissertation for the Master Degree in Engineering RESERCH ON SILICON MICRO FLAT HEAT PIPES WITH AXIAL GROOVES  Candidate: Supervisor: Academic Degree Applied for: Specialty: Affiliation： Date of Defence: Degree-Conferring-Institution:  Xin Xin Prof. Liu Xiaowei Master of Engineering Microelectronics and Solid-State Electronics Dept. of Microelectronics Science and Technology