光学质量大尺寸蓝宝石单晶工艺研究.pdfVIP

第32卷第4期 深圳大学学报理工版 V01．32No．4 OF 2015年7月 JOURNALSHENZHENUNIVERSITYSCIENCEANDENGINEERING Jul。2015 【材料科学／MaterialsScience】 光学质量大尺寸蓝宝石单晶工艺研究 王东阳1，贺 威1，李玲2，翟剑庞2 1)深圳大学电子科学与技术学院，深圳518060；2)深圳大学光电丁程学院，深圳518060 摘 要：分析了泡生法生长大尺寸、光学质量蓝宝石单晶工艺，探讨了影响蓝宝石晶体生长的9大因 素：①温场的轴向和径向温度梯度大小对晶体生长的影响；②氧化锆层对晶体质量的影响；③原料对晶 体生长的影响；④籽晶的质量和晶向对晶体生长的影响；⑤引晶对晶体中残余应力、位错和晶界的影响； ⑥放肩角度对晶体的影响；⑦等径生长速度对晶体的影响；⑧收尾拉脱与否对晶体质量的影响；⑨退火 时间长短对晶体的影响．通过分析各影响因素，改进生长工艺，成功生长出70