正交衍射光栅计原理及在超精密工作台上的应用.pdfVIP

摘 要 为了满足现代各种不同精密加工与测量的要求，世界各国都在研制各种各样的精 密工作台，它的研究发展很快。计量型、宽范围、高精密的二维位移工作台具有广阔 的应用前景，本文为此，展开研究，其核心内容主要包括两个方面：(1)二维位移计 量标准器的研究；(2)高精度运动基准二维位移工作台及其驱动系统的研究。 首先阐述了正交光栅计量的基本原理和方法。基于电磁场理论上亥姆霍尔茨 （Helmholtz）波方程建立了光栅向量普适方程，并将此方程应用于光栅计量系统的 光路布局设计。 应用光栅向量普适方程，建立光栅偏转变化与衍射光束方位变化的数学模型。基 于此模型，对不同偏转情况下的光栅干涉条纹进行了仿真。根据衍射光栅的计量特点， 建立了正交衍射光栅测量误差模型，推导了光栅安装误差与测量误差之间的关系。 分析了干涉条纹两路光电差分信号的有效范围，提出采用椭圆拟合对差分信号进 行拟合、校正与补偿，以进一步提高系统测量精度的方法。 提出干涉条纹光电接收的差分光电管零间隔与田字型光电管两种新型布置方法， 解决了正交衍射光栅产生的干涉条纹质量相对较差影响测量结果的难题，并在实际应 用中取得了良好的效果。 采用积分法对新型接收方法所得信号的幅值与相