透皮微针阵列的艺研究.pdfVIP

摘 要 微机电系统(MEMS)能够在传统仪器不能达到的微小空间中进行精密操作， 实现实时监测，因而在生物医学中有着广泛的应用，如精确药物注射、临床监测、 显微外科手术、微型植入系统等。可以说，MEMS技术的出现给生物医学带来了 新的手段，微针阵列就是MEMS技术在医学上的一个重要应用。微针阵列可广泛 用于生物医学测量，药物传送，微流体采样等领域，它具有尺寸小，强度高，用 材具有生物兼容性等特点，可以精确控制刺入的深度，从而减少刺入位置的损伤， 实现无痛的目的，为患者提供高效、安全的医疗手段，更符合医学研究人性化的 特点，给生物医学领域注入了极大的活力，因此具有十分重要的研究意义。 本硕士课题以用于药物传输为目的的微针阵列为对象，研究了微针阵列的主 要加工工艺——微针尖的加工工艺、微针孔的加工工艺及微针尖和微针孔的套刻 工艺。其中微针尖的加工采用各向同性刻蚀技术，微针孔的加工采用各向异性深 度刻蚀技术，文中对这两种微加工技术做了详细的理论阐述和实验研究。 本文共由五章内容组成： 第一章，综述。本章主要从MEMS及MEMS加工技术的发展、微针在生化 医疗领域的研究进展和应用前景两方面介绍介绍了课题的研究背景和研究意义， 并提出了课题研究的内容和目标。 第