tinx太阳光选择性吸收薄膜的研究.pdfVIP

摘要 摘要 太阳光谱选择性吸收薄膜是太阳能光热转换应用中极为重要的关键材料， 具有环保、光热转换效率高等优点，并且可与建筑一体化结合，有市场前景。 当今，世界上许多国家都在积极研究它的制备工艺，以期获得具有简单的工艺、 低廉的成本、优良稳定的性能的太阳光谱选择性吸收薄膜。本论文在调研国内 外研究发展的基础上，针对目前国内太阳能集热器的现状和发展趋势，开展了 磁控溅射制备太阳光谱选择性吸收薄膜的研究。 本论文采用直流反应磁控溅射方法，以Ti为靶材，Ar气为工作气体，02 气和N2气为反应气体，在Si基底上制备了单层TiNx薄膜，分别在Cu基底和 结晶结构、表面形貌和光学性质进行分析。 1．在各种工艺参数下制备的TiNx薄膜，发现当氩气流量为30sccm，氮气 在Si基底上制备的TiNx薄膜为多晶结构的立方相，并呈现为(200)择优取向， 颗粒致密，膜表面均匀，结晶度最好；在测试波长(350．1000nm)范围内，所有样 品的反射光谱都在455nm附近存在一个反射极小值，而在近红外波段都表现了 高反射。· 2．氧气流量对反应溅射沉积单层Ti02．x膜的透过率、折射率和消光系数影 响显著。随02气流量增大，薄膜透过率逐渐增大，当02气流量为16sccm时， 薄膜折射率和消光系数随氧气流量增大而减小。 均吸收率a=82％，有良好的光谱选择特性，可作为太阳光谱选择性吸收薄膜。 关键词：直流反应磁控溅射；TiNx；Ti02．x；太阳光谱选择性吸收薄膜 Abstract Abstract Solar selective thin such spectra absorption film(SSSATF)，havingadvantages asenvironmental of a protection，highefficiencylight-heatconversion，is extremely andcrucialmaterialinthe ofsolar is important applicationenergy．At present，solar in obtainand countries，to stable SSSATFwim investigatedmany high performance andlowcost this researchand of simple technology．In paper,the development with solarcollectorsandsolar SSSATF，combine water-heaterare introduced． detaily Inthis choosedtheTiasthe as andas paper,we target，Ar N2