光伏硅晶材料的改性研究.pdfVIP

摘要 摘 要 太阳能光伏发电是解决世界能源危机和环境污染的重要途径。目前硅晶太 阳电池占据了光伏市场约88％的份额。硅晶材料的热改性指通过热处理或优化 硅晶太阳电池制造中的热过程参数来提高晶体硅材料的光伏应用性能。它是一 条低成本地提高硅晶太阳电池转换效率的重要的潜在途径。 本文系统地研究了热过程参数对晶体硅中杂质状态与分布、缺陷密度的影 响，以其由此导致的晶体硅电学性能的变化规律。所涉及的硅晶材料包括直拉 单晶硅与定向凝固铸造多晶硅。研究主要取得以下结果： 1、发现铸造多晶硅在连续冷却过程中，间隙固溶态的杂质氧有很强的沉淀 趋势，而替位固溶态的碳则不然。前者在高达lO。C／s的冷却速率下仍会发生可 观沉淀析出；而后者在低至O．017℃／s冷却速率下也基本不发生沉淀析出。计算 分析显示，硅晶中杂质碳不易发生沉淀析出的原因在于碳在硅中的扩散激活能 大，扩散速率极低。 2、发现无论是直拉单晶硅还是铸造多晶硅，其铁杂质的脱溶沉淀与分解重 加热后快速冷却至室温，其间隙铁含量均显著增加；加热温度越高，快冷后硅 晶中的间隙铁含量越高；而经一定温度加热后，间隙铁含量均随冷却减缓而降 低。在9001050℃范围加热，继以50℃／s的速率快冷至室温后，两种硅晶材 料中90％以上的铁仍以沉淀形式存在，其余的铁以过饱和固溶间隙态存在。对 铸造多晶硅，这些过饱和的间隙铁经加热随即缓慢冷却处理后，又发生沉淀而 大幅度回落下降，并随加热温度的升高而逐渐降低，900。c3H热时即接近原始铸 造多晶硅的间隙铁含量水平。 3、0．2ram厚的多晶硅片经过1320℃以上高温退火并缓慢冷却后，其内部位 错数量会显著下降。例如在1340。C退火2小时并以O．124C／s速率冷却后，其内 部位错密度降低约一半。实验显示，高温下硅晶体中位错的消长对热应力十分 敏感，从而受冷却条件和材料厚度影响很大一在1320℃以上高温退火后冷却速 率稍高(大于0．13℃／s)即会使多晶硅片内部位错密度增加；而厚度为13mm的铸 造多晶硅块经此高温退火后即使以o．03。C／s的速度缓慢冷却，其内部的位错密度 也有一定程度的升高。实验还发现，经1100℃以下温度退火并缓慢冷却后，0．2mm 摘要 多晶硅片中位错密度并不降低，反而增加。 4、提出原始态硅晶材料少子寿命的热衰减概念并进行系统研究。实验发现， 原始态的直拉单晶硅与铸造多晶硅在300-105012范围加热后快冷至室温，其少 子寿命均显著下降，加热温度越高，下降程度越大；而经相同的温度加热后， 其少子寿命随冷却速率增加而降低；热衰减后的多晶硅片经不同加热并缓慢冷 却处理后，其少子寿命均能得到不同程度的恢复，在900℃达到最大值，约为原 始多晶硅片的92％。实验还发现，经过加热淬冷热衰减的铸造多晶硅比原始铸 造多晶硅具有更强的抗高温热衰减能力。 5、综合硅晶材料少子寿命热衰减／恢复现象与热过程中硅晶内部氧、碳和 铁杂质杂质状态与位错密度变化的关联情况，提出热衰减的主要机理是硅晶中 铁等金属沉淀相的分解造成的铁等金属杂质的固溶释放，它们在冷却过程中未 能充分聚集沉淀，而造成较高含量的过饱和固溶铁等金属杂质或高度分散细密 的二次沉淀，成为少子复合中心，使少子寿命大幅下降；而已经热衰减硅晶的 少子寿命恢复的主要机理则是过饱和固溶铁等金属杂质的聚集沉淀，或细密沉 淀的溶解与再次聚集沉淀为较大尺度沉淀相。 6、采用650℃保温40min的退火可以有效地消除直拉单晶硅中形成的热施 主，并使虚高的少子寿命和电阻率恢复到实际值。在后续高温加热后的缓慢冷 却过程中，硅片的热施主会再次生成，其含量随冷却速率降低而增加，快速冷 却可避免热施主的再次生成。实验还发现，慢冷至550℃后再快冷同样可避免热 施主的再次生成，而且还避免了少子寿命热衰减。这一发现可用以解决消除热 施主处理与少子寿命热衰减的矛盾。 以上结果对晶硅太阳电池的生产中热过程的优化利用以及对硅片附加热处 理的设计将具有重要的参考价值，对于低成本地提高现有晶硅太阳电池效率意 义重大。部分结果公开发表后已为多晶硅太阳电池制造企业采纳应用。 关键词：光伏；硅；热改性；铁；氧；碳；热施主；位错；热衰减 II A