玻璃基溶胶-凝法沉积紫外截止与防静电双功能薄膜.pdfVIP

摘要 本论文用溶胶．凝胶方法制备出了玻璃基截止紫外线和防静电双功能膜。首先 同Cc／Ti摩尔比、陈化时间、热处理温度和膜层厚度对截止紫外线性能的影响； 以及不同Sb掺杂量、热处理温度和不同厚度的Sn02：Sb薄膜对光学性能和电学 性能的影响。然后在此基础上，用溶胶．凝胶的方法在玻璃基片上沉积了 薄膜的结构和性能。得到的结论如下： (1)Ce02．Ti02紫外截止膜可以通过溶胶．凝胶法制得。复合溶胶的紫外截止 能力强于纯的Cc02溶胶、或纯的Ti02溶胶。溶胶的颜色呈现由黄色一红棕色_ 橙黄色_乳白色的变化，这与其中Ti3+的浓度有关系。当Ce／Ti5／5(摩尔比)时， 随着Ce元素比例的增加，溶胶和薄膜的紫外截止能力增强：Ce／Ti=5／5、4／6(摩 尔比)时，溶胶颜色最深，截止紫外线能力最强；Ce／Ti5／5(摩尔比)时，膜面 雾化，膜层截止紫外线能力下降；当Ce02．Ti02膜厚达到390nm左右时，紫外线 就能够100％被截止，同时膜存在临界厚度(574nm)，即大于此厚度截止边波长 基本不发生变化，到达可见光区； (2)通过XRD分析，薄膜中的Ce02晶体会使膜面呈雾状，透明度降低；膜 层内的Ce、Ti固溶体或当晶体微小和呈非晶态时，膜面质量良好，且可见光透 过率保持在70～80％。薄膜内晶体随着热处理温度的升高变得完善，并且随着溶 胶陈化时间的增加，薄膜的吸收边和截止边出现红移现象；纯Ce02，或纯Ti02 溶胶，以及二者不同摩尔比例复合溶胶的光学带隙均小于块体材料，通过计算得 到Egce02Eg币02Egce02-Ti02； 时，薄膜具有好的导电性(Rs=160D．／o)，镀膜玻璃的可见光透过率达到70％； 同厚度Sn02：Sb薄膜，能够得到兼具截止紫外线和导电性的双功能薄膜，紫外线 截止率达98％，方块电阻320D．／cJ；能通过导电采取泄漏法来消除／防止玻璃静电。 增大和热处理时间的延长，Ce02的结晶发育完全。Sn02薄膜的物相结构为四方 相金红石结构； 提高，si02薄膜不影响Ce02．Ti02薄膜截止紫外线的能力。 关键词： 溶胶．凝胶法，Ce02．Ti02／Sn02：Sb，紫外截止／透明导电双功能膜， 防静电 Abstract Doublefunctionalfilmswith andantistaticon substrate UV-shielding glass using methodhavebeen and filmswere Sb：Sn02 Sol-gel prepared．Firstly,Ce02一Ti02 differentratioofCeto on substrates effectsof molar depositedglass respectivly．The treatment andfilmthicknessonthe time，heat Ti，aging temperature of filmswerestudiedandtheinfluenceof Ce02一Ti02 shielding-ultravioletproperties Sb treatment andthicknessonthe contents，heattemperature opticalpropertoes doped andelectrical offilmswere thesame