mems光开关建模与仿真.pdfVIP

摘要 随着互联网的发展，对传输速度与带宽提出了更高的要求，传统的机械光开 关难以适应高速、大容量光传送网发展的需求，新型的以MEMS为基础的微机械 光开关以其具有体积小、易于集成、对波长、折射率、温度等物理参数不敏感的 特性，成为大容量交换光网络开关发展的主流方向。 本文针对静电梳齿驱动结构的MEMS光开关，介绍了光开关的工作原理，选 择微反射镜的位移作为系统的广义坐标，通过计算系统的动能、势能、磁能及电 能构造了系统的拉格朗日函数，确定了耗散函数，最终建立了系统的机电动力学 方程。在此基础上，通过仿真计算，得出了阶跃电压驱动下的动态响应过程，并 对影响微反射镜位移与响应时间的因素进行了分析，得出以下结论：驱动电压与 镍梁的尺寸是影响梳齿光开关性能的关键因素，此外，平板电容的边缘效应对系 统的影响不可忽略，且它对提高微反射镜的位移具有重要作用。最后，为了提高 微反射镜的响应速度，对系统进行了优化设计，选择镍梁的质量作为目标函数， 通过减小镍梁的质量提高微反射镜的加速度，以镍梁的宽高作为设计变量，建立 了结构优化模型，并采用遗传算法优化方法进行了求解。结果表明：微反射镜在 相同电压作用下的稳态位移可增加14％，调整时间减小了6．5％。 关键词：微机电系统 光开关 梳齿驱动 建模仿真 优化设计 Abstract switchescan Withthe of traditionalmechanical Intemet，the optical development the of notsatisfy capacityopticalIxamportation developmenthigh-speed，large a to andbandwidth．The net,which higher transporting—speed proposese requirement newmicro．mechanical itscharacteristicsofsmall opticalswitch,with size，easy integration,thephysicalparametersofwavelength,refractive onMEMSbecomethemainstream exchangenetswitck oflargecapacity optical the nlecomb-driveswitchiSstudiedinthisdissertation．111isstates optical paper ofcomb·drive the ofthe workingprincipal switch．Bychoosingdisplacement micromirrorasthe coordinateofthe kinetic s埘tch，calculating generalized optical