超精密测量光路调焦位移共轴检测技术的研究.pdfVIP

摘要 摘要 本课题是福建省科技计划重点项目“柔性电路FPC非电量参数在线质量控制 技术研究中的一项关键技术——实现超精密光学测量系统中调焦位移的共轴检 测，解决该系统中存在的原理性误差问题，并最终提高光学测量系统的测量精度， 在应用各种光学原理实现对超精加工表面的几何量测量中，精加工表面面形 及微观形貌是由位移传感器记录光学测头的离焦量而碍到的。电容式位移传感器 具有很多优点，是记录调焦位移的关键部件。结合实现光学测量系统测头的小型 化及减小边缘效应影响等要求，可用变极距式平板电容位移传感器实现光学测量 系统调焦位移的共轴检测。本文突破了普通平板式电容位移传感器的结构限制， 设计了一种新型的中间通光、环状电极、带双等电位保护环电容式位移传感器， 使测量光路的测量光轴从极板的对称中心穿过，传感器对称轴与光路的光轴重 合，从而满足阿贝测量原则；改变传统机械加工工艺，采用微机电系统(ME憋) 工艺力u-r_双等位环电极极板，可以使极板做得很薄，约为几微米；等位环与电极 极板之间的间隙很薄。约为101．tm，有效减小了边缘效应附加电容的影响，从而 提高了测量的线性度和测量精度；设计了改进型的电容运算放大器检测电路。最 后，通过数据采集卡将测量信号采集到计算机，由计算机将数据处理、显示输出， 实现了智能化。 课题主要的研究工作内容有： 1．对平板式电容传感器的边缘效应及其对输出特性的非线性影响进行定性 分析： 2，根据课题设计要求，应用AutoCAD软件绘出中间有通光孔的双等位环电极 极板的结构； 3，设计电极极板加工的MEMS工艺流程并加工电极极板； 4．在电路仿真的基础上，设计电容式传感器检测电路。进行位移测量实验； 5．完成了电容式位移传感器的初步标定。 在完成了试验仿真的基础上，在实验台上进行了动态试验。对电容式传感器的 标定实验表明，非线性误差小于1％，实现了预期的设计目标。 关键词：超精密测量；电容式位移传感器；双等位环；MEMS工艺 ABSTRACT ABSTRACT Thisresearchisacrucial inthe technicalnamed techniqueprovincial project CircuitNon-electricalParameter Control “Flexible FPC Online Quantity Quality can thecoaxialdetectionoffocus Technology”．Itaccomplish adjustment inthe the measurement solves displacementultra-preciseoptical system，which oftheoreticalerrorinthe andincreasesthemeasurementof problem system accuracy the opticalmeasuringsystem． Inthe ofthe dimensionalmeasurementtothe processgeometrical Ultra-precise finishsurfaceviathe of eonfocal isrecor