汽轮机末级叶片水蚀氮化碳氮化钛复合涂层制备及其相关基础研究.pdf

中南大学博士论文 摘要 摘要 采用中频磁控溅射和多弧辅助中频磁控溅射技术在硅片、不锈 钢、高速钢以及硬质合金等基体材料上制备C3N4涂层和C3N棚N纳 米复合涂层，系统研究了C3N4涂层和C3N4／TiN纳米复合涂层的结构、 物理性能、摩擦磨损、抗水蚀性能，相关基础研究成果在汽轮机末级 叶片上得到了应用。主要结论如下： (1)采用中频磁控溅射技术在硅片上合成纯C3N4薄膜，X射线衍 射分析表明薄膜中含有仅和p两种结构的C3N4相，其中p相是C3N4薄膜 的主要结晶相。光电子能谱和傅立叶红外光谱分析表明，薄膜中的C、 在，C、N原子以C．N键为主要键合方式。 (2)研制了多弧．中频磁控溅射系统，在2Crl3不锈钢和高速钢基 体上沉积C，N4／TiN纳米复合涂层，所制备涂层硬度超过40GPa，属于 涂层表面状况良好、涂层与金属衬底结合牢固。 (3)通过对涂层的性能测试及热冲击试验和摩擦磨损性能测试， 发现涂层硬度和附着力受基体材料影响。在涂层的热冲击试验中， 以下，涂层几乎没有变化。在550℃时，发现在涂层的表面出现氧化 物。摩擦磨损试验发现随着载荷