《PbZr0.40Ti0.60O3非晶薄膜透射光谱性质研究 INVESTIGATIONS ON THE TRANSMISSION SPECTRA OF PbZr0.40Ti0.60O3 AMORPHOUS THIN FILMS》.pdfVIP

第22 卷第3 期 红 外 与 毫 米 波 学报 VoI. 22 ，No. 3 2003 年6 月 J. Infrared MiIIim. Waves June ，2003 Pbzr0. 40 Ti0. 60 O3 非晶薄膜透射光谱性质研究＊ 胡志高 王根水 黄志明 孟祥建 赵 强 石富文 褚君浩 （中国科学院上海技术物理研究所，红外物理国家重点实验室，上海，200083 ） 摘要 采用溶胶凝胶方法在石英玻璃上制备了均匀透明的PbZr Ti 0 （PZT ）非晶薄膜，测量了200 ~ ll00nm 0 . 40 0 . 60 3 的紫外可见近红外透射光谱. 根据经典的包络计算方法，同时获得薄膜在透明振荡区的折射率，消光系数以及厚 度. 薄膜的折射率色散关系可以通过单电子 seIImeier 振荡模型成功地进行解释. 最后，根据Tauc s 法则，得到 PbZr0 . 40 Ti0 . 60 03 非晶薄膜的禁带宽度为3. 78eV. 关键词 PbZr Ti 0 ，非晶薄膜，光学常数，禁带宽度. 0 . 40 0 . 60 3 INVESTIGATIONS ON THE TRANSMISSION SPECTRA OF Pbzr Ti O AMORPHOUS THIN FILMS ＊ 0. 40 0. 60 3 HU Zhi-Gao WANG Gen-Shui HUANG Zhi-Ming MENG Xiang-Jian ZHA0 Oiang SHI Fu-Wen CHU Jun-Hao （NationaI Laboratory for Infrared Physics ，Shanghai Institute of TechnicaI Physics ，Chinese Academy of Sciences ，Shanghai 200083 ，China ） Abstract Uniform and transparent PbZr Ti 0 （PZT ）amorphous thin fiIms were deposited on the fused siIica sub- 0 . 40 0 . 60 3 strates using a modified soI-geI processing. The opticaI properties of PZT amorphous thin fiIms were investigated in the waveIength range of 200 ~ ll00nm. The refractive index，the extinction coefficient and the fiIm thicknes