《Fe2O3-In2O3复合薄膜光波导传感元件检测二甲苯气体的研究》.pdfVIP

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2015-12-09 发布于河南
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《Fe2O3-In2O3复合薄膜光波导传感元件检测二甲苯气体的研究》.pdf

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第26卷第4期传感技术学报 V01．26No．4 CHINESE OFSENSORSANDACTUATORS 2013年4月 JOURNAL Apr．2013 ThinFilm Sensorfor GasDetection。 Composite OpticalWaveguide Xylene Fe203-In203 MamtiminYimit2+ Gulgina 1，Abliz andEnvirenmental Teacher’s (1．DepartmentofChemistry Scienece，Kas，唧rCollege，Kas，螂rXinjiang844006，China； andChemical 830046，China) 2．CollegeofChemistry Engineering，XinjiangUniversity，Urumqi studiedthe ofa thinfilm／tin·diffused Abstract：This paper gassensitivityFe203-In203composite glassoptical sensor．Thesensitiveelementwas a method．Thesensorwasfabricated a waveguide synthesizedby sol-gel bycoating film thin onthe senstiveelementWasfixedto glass waveguide Fe203-In203 tin-dopedopticalwaveguide．Theoptical constructa sensor todetect volatile resultsshowedthatthe gas system gaseous organiccompounds(VOCs)．The thinfilm／tin—diffused sensorshowed to at Fe2 composite glass waveguide highsensitivityxylenegas 03-In203 optical room anditsdetectionwas1xlO～一1x10。5(volumefraction)．it to1x10。 temperature range respondedsignificantly andthe and timeswere than5sand thin (V／V)of short(1ess xylenevapor responserecovery film sensorwasfabricatedandithadashort optical simply responsetime，highsensiti