《Optical properties and microstructure of Ta_2O_5 thin films prepared by oblique angle deposition》.pdfVIP

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2015-12-09 发布于河南
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《Optical properties and microstructure of Ta_2O_5 thin films prepared by oblique angle deposition》.pdf

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《Optical properties and microstructure of Ta_2O_5 thin films prepared by oblique angle deposition》.pdf

October OPTICSLETTERS967 10，2009／V01．7，No．10／CHINESE andmicrostructureof thinfilms properties Ta205 Optical deposition preparedbyobliqueangle Xiudi He(贺洪波)1，HongjiQi(齐红基)1’， Xiao(肖秀娣)1，2．，GuopingDong(董国平)1，-，Hongbo Jianda ZhengxiuFan(范正修)1，andShao(邵建迭)h+ 1 andFine of Instituteof Mechanics，ChineseSciences，Shanghai201800，China Shanghai Optics Academy 2Graduate ofChinese of University AcademySciences，Beijing100049，China andFineMechanics 3ShanghaiDahengOptics Co．，Ltd．，Shanghai201800，China December Received 22，2008 Tantalum thinfilmsare electronbeam influenceof pentoxide byobliqueangle evaporation．The prepared flux onthesurface andmicrostructureis electron angle morphology investigatedbyscanning microscopy thinfilmsre with orientatednanostructureofslantedcolumns． (SEM)．TheTa205 anisotropichighly The films inthedecreaseofeffectiverefractiveindexand microstructureofthe results porous as-deposited in with structureresults packingdensityincreasingdepositionangle．Theanisot