面向MEMS设计的微流体流动特性的研究.pdf

摘要 针对微流体器件内部流动规律的认识还相对落后的现状，开展对微尺度、微 结构及微功能器件开展微流体机理研究，寻找合适的微流体力学建模方法，进而 对微流体器件的结构及参数进行优化研究，是目前微流体研究中亟待解决的科学 问题，将为新结构、新器件的设计提供重要的理论根据。 本文介绍了微流体力学领域的连续介质模型、分子模型和介观模拟方法三类 主要的建模方法，并探讨了它们各自的适用场合，这对如何选择微流体器件的建 模方法具有理论意义。 对滑流区的微流体流动阻力特性进行了较为系统地分析和研究。基于一阶滑 流边界条件，对滑流区的压差流动、剪切流动等典型流动问题进行分析，并得到 了几种典型问题的解析解；针对滑流区中典型截面的压差流动的等效粘度修正方 法，推导并给出了多种截面流动的等效粘度修正系数及其相关参数，为工程计算 提供了一种简便易行的方法。 针对MEMS微结构中的气体压膜问题，基于一阶滑流边界条件，提出了一种 双动量协调系数的修正雷诺方程；并对新模型的误差进行了分析，指出采用该模 型能够满足MEMS工程设计的精度需求。基于双动量协调系数的修正雷诺方程， 对几种典型情况下的不可压缩和可压缩气体的挤压膜阻尼特性进行了详细分析， 推导出了压强分布、阻尼力和阻尼