气体摆式倾角传器的敏感机理及影响性能的关键因素研究.pdfVIP

摘要 摘要 气体摆式倾角传感器的原理是利用自然对流气体在密闭腔体中的 “摆特性研制成的，其关键敏感结构由密闭腔体及其内部的热敏丝构 成。由于没有摆动质量块，而且气体的质量也很小，所以气体摆式倾角 传感器具有很强的抗振动和冲击能力，在许多领域都得到了广泛的应用。 但是，目前气体摆式倾角传感器的设计制作主要是建立在实验基础上， 器件的理论研究仍处于探索阶段。例如，对于密闭腔体内的流场与输出 特性的关系、热源的辐射效应对传感器输出特性的影响和灵敏度要求较 高条件下的温度漂移补偿问题等，都有待深入的研究和探讨。本文针对 上述一些基本问题，主要开展了如下工作： 首先，分析了气体摆式倾角传感器密闭腔体内的流场特性参数与传 感器输出特性的关系。通过建立控制方程、给定边界条件，运用有限元 法对密闭腔体中的气体的流动进行了数值计算，并利用数值计算结果定 量分析了气体摆式倾角传感器密闭腔体内的流场特性参数与传感器输出 特性的关系。同时还探讨了不同敏感结构的输出特性，讨论了不同敏感 结构对传感器性能的影响。 其次，理论分析了气体摆式倾角传感器密闭腔体内的传热问题。由 于传热过程的不同，传热机制各