带有通信发送接的cmos ph值和温度集成传感电路设计与研究.pdfVIP

摘要 摘要 本文基于O．6岬双层多晶硅双层金属N阱CMOS工艺设计了带有通信发送接口的 pH值和温度集成传感电路芯片。 在不改变0．6肛rnN阱CMOS工艺流程和不违反设计规则的前提下，实现了与CMOS 设计．MFGFETpH值传感单元具有由多晶硅栅和两层金属构成的多层悬浮栅电极，并 学镀金处理后的环形金属2层作为片上参考电极，有利于克服漏电流和溶液电阻及噪声， 使被测溶液区域参考电位稳定，从而提高测量精度。阐述了具有Si3Na／Si02复合钝化层 MFGFET阈值电压的变化仅仅来自于多层浮栅结构中的电荷，其阈值电压值等于相应 MOSFET的阈值电压迭加一个恒定电压值。 片上同时兼容集成了pH值信号处理电路、具有线性输出和高低电平超温告警开关 信号输出的CMOS温度传感电路。可以实现生物微环境中pH值和温度的同时检测功能。 其中pH值传感电路采用敏感单元和参考单元差分拓朴结构，在恒流恒压信号读出电路 控制下，得到与溶液pH值呈线性关系的电压输出，并可消除电路和环境噪声的影响， 提高测试精度。开关型温度传感电路可在室温～95℃范围内设置可调的超温报警温度， 线性温度传感电路可实现室温～80℃温区内的线性温度检测。 在5V 所设计的RS．232串行发送接1