气敏薄膜及气体感器阵列的制备及特性研究.pdf

摘要 摘要 利用具有不同选择性的多个气敏元件组成气体传感器阵列，可充分利用传感 器阵列所提供的交叉敏，并运用人-r-丰,经网络的模式识别技术对其响应输出谱进 行分析，就可以实现传感器的高选择性，并提高气体传感器的测量精度。军事和 工程上有着广泛应用的电子鼻就是在此基础上发展起来的，它由气体传感器阵列、 数据采集卡及模式识别算法三部分组成，它在食品、化工、环保、医疗诊断、毒 品检验等方面有很重要的应用，其关键技术就是气体传感器阵列。 本论文以气敏薄膜及气体传感器阵列为研究对象，首先对气敏薄膜体系进行 了系统研究：采用真空热蒸发工艺制备了W03薄膜、通过真空蒸发法和旋涂法制 备了TCNQ薄膜和SnPc薄膜及它们与PMMA的复合薄膜、通过掺杂诱导自组装 工艺制各了纳米金基底，并进一步制各了聚苯胺／聚苯乙烯磺酸掺杂自组装复合膜。 其次，率先设计了电子聚合物化学场效应管型气体传感器阵列结构，并针对基于 聚苯胺／聚苯乙烯磺酸掺杂自组装复合膜的气体传感器阵列的敏感特性进行系统的 研究及分析。最后对气体传感器阵列测试算法进行了初期研究。所得到的丰要结 论及创新性结果可归纳如下： 1．采用真空热蒸发工艺及合适的热处理