混合型干涉仪的本原理和实验研究.pdfVIP

摘要 摘要 激光干涉技术是发展较为迅速的传感技术，与传统的测量技术相比，激光干涉技 术具有非接触、易准直、紧凑等特点，在位移、振动等，L何量的测量方面得到了广泛 的应用。 运用多光束干涉的思想与驻波理论，阐述了F．P干涉激光自混合干涉的基本原 理，建立了理论模型，获得了光反馈条件下的输出功率及输出频率的数学表达式，对 不同反馈水平下的激光自混合干涉信号与不川反射率下．的F—P干涉信号进行了理论 分析与数值模拟。 激光自混合干涉的干涉谱偏离正弦，测量过程中影响量值精度和溯源，为了克服 这一缺点，本文提出了混合型干涉仪的测量构想，即用激光自混合干涉实现亚微米级 位移的实时测量，用F—P干涉仪追踪微小的振动信号和强度法实现纳米级位移的实时 测量。本文中设计了混合型干涉仪的光路并作j7初步的探究实验。 基于一次谐波腔长锁定技术，设计了，一种基于F-P腔干涉的强度解调型微位移传 感器。系统对F．P腔的初始腔长进行动态锁定，通过将F-P腔腔长的微小变化转化为 强度信号，实现直接快速地对待测目标的微位移进行测量。详细地阐述了位移传感的 理论模型及一次谐波锁定FP腔腔长的技术方‘案，实验中利用商用