热释电红外探测阵列的设计、制备及电性能研究.pdfVIP

摘 要 本文系统的研究了BST薄膜红外探测器阵列的版图设计、制备工艺以及薄膜线列 的电学性能。主要研究内容及实验结果如下： 膜和Ni／Cr吸收层由8x8个单独的单元组成。 呈现多晶钙钛矿相，其晶粒生长均匀，薄膜表面光滑致密。 研究了电极的光刻和剥离工艺。经过优化工艺，得到的Pt／Ti底电极、Ni／Cr吸收层 和Au上电极图形完整、边缘整齐、表面无残留物。 刻蚀而产生的结构损伤，薄膜致密度和表面光洁度提高。采用XPS分析技术对刻蚀前、 刻蚀后和刻蚀后退火的BST薄膜表面成分进行分析，和刻蚀前相比，刻蚀后的Ba3d3／2、 蚀后600C再退火的薄膜相应光电子峰化学位移变化较小。刻蚀前、刻蚀后和刻蚀后退火 Bao．79Sro．21Til．0203．07。 线列的介电性能、铁电性能和漏电流特性。室温条件下，在测试频率为100KHz时，lx8 薄膜线列的漏电流密度为7．07x10_1n／cm2。 关键词：钛酸锶钡铁电薄膜；热释电非致冷红外探测器阵列；光刻；剥离；刻蚀 Abstract of ferroelectricthinf