玻璃基离子交换艺及波导器件的研究.pdfVIP

摘要 玻璃基离子交换技术是制作平面光波回路(Planar Circuit，PLC) Lightwave 型器件的重要技术之一，它可以广泛应用于制作PLC型光分路器、光放大器以 及波分复用器(Wavelength ToThe 光纤到户(Fiber Home，FTTH)全球扩展的时代，玻璃基离子交换技术 具有重要的研究意义和应用价值。 论文结合了玻璃离子交换技术的理论和工艺，在技术向产业化的转化过程 中，首先提出了具有工艺指导意义的电场辅助离子交换模型；接着基于该模型构 建了银钠离子交换工艺的分析方法，改进了工艺过程；最后，基于工艺分析方法 实现了玻璃基离子交换单模波导及光分路器的制作，器件的指标满足同类相关产 品的标准，并建立了以新模型为核心的玻璃基离子交换型光器件的工艺分析体 系。 1．电场辅助离子交换模型 论文通过对经典的离子交换模型的分析，研究了经典的电场辅助离子交换模 型——恒电压模型的近似条件。实验发现，由于电场辅助离子交换模型中存在的 电致热效应(电场引起的焦耳热效应)，恒电压模型存在误差。论文在模型分析 中提取了电荷密度通量