集成湿度传感器号处理电路的研究.pdfVIP

摘要 湿度传感器广泛应用于军事、气象、工业、农业、医疗、建筑以及家用电器等方面。论文中的 湿度传感器采用铝叉指结构和聚酰亚胺感湿材料实现的电容式微型传感器。随着CMOS技术和 MEMS技术的发展，已可以将湿度传感器和信号处理电路进行单片集成，以克服分立器件检测电路 精度低、易受干扰的缺点，实现传感器的集成化、智能化。 实验室前期对微电容式传感器的片上检测方案做了较多的研究，特别是电容．频率法，进行了相 应的流片和测试。但是从流片的测试结果看，效果并不理想，主要表现在以下几点：(1)未实现单片 集成的目的，电路不能检测片上电容；(2)湿度传感器和电路本身的温漂较大，极大的影响了电路的 检测精度；(3)缺少对电路各模块的优化和整体考虑，如恒流源充放电电流不一致，schmitt触发器 的高低阈值电平不稳定，差频电路不能正常工作，缺少对电路输入的保护和输出驱动的考虑等。 通过分析国内外微电容处理电路的典型方案，论文采用电容．频率法对微电容进行检测。首先针 对前人研究的电容．频率转换方案所出现的诸多非理想效应进行改进和优化：(1)采用带有特定温度 系数的电流基准作为充放电电流的偏置，补偿传感器和电路出现的温漂；(2)加强恒流源充放电电流 的一致性；(3)设计更合理的schmitt触发器的高低阈值电平，重点考虑开关的非理想特性以及电路 与外部接口的