氪—卤素准分子外光源的特性研究.pdfVIP

摘要 本文系统地研究了同轴圆柱型的KrCI+，KrBr+准分子紫外光源，着眼于电源 波形、管壁厚度和气体参数(如总气压、卤素比例)等对准分子灯效率和光谱的影 响，确定了其最佳效率及其对应的放电参数。 基于介质阻挡放t电(DBD)的同轴KrCI’准分子灯内管内外径分别为14和16 1TIITI，外管外径为40 1Tim，壁厚分别为1．2，1．5，2．0nlln。这三种壁厚的灯都充上 同样的气体成分，即总气压为200 mbar的氯气(C12)和氪气(心)，其中氯气占1．0％。 三种壁厚的灯分别用正弦、方波和脉冲电源来驱动。222nlTl的辐射功率通过 Hamamatsu H8025—222紫外辐照度计探头测量KrCl’准分子灯中心的辐照度，并 由Keitz公式计算得出；而灯的输入电功率则通过高压探头和电流互感器结合示 波器积分得出。结果表明，1．2 FnlTl壁厚的KrCl’准分子灯在三种电源驱动下效率 都是最高的，最佳效率为脉冲电源驱动下达到9．2％。文中讨论了电压、频率、 管壁厚度、管壁温度以及石英管的透过率对效率的影响，图解说明了微放电的丝 状随着电压波形变化，并对功率测量和辐照度测量等进行了误差分析。 在确定KrCI+准分子灯最佳管壁厚度后，制作了各种气体参数(如总气压和 C12比例)的KrCl’准分子灯，研究了这些准分子灯在三种电源驱动下辐射强度、 效率、光谱等的变化。确定了KrCl+准分子灯的最佳放电参数：脉冲电源，总气 压200 mbar和C12比例O．5％，对应的最大效率为11．4％。另外，KrCI’准分子灯 的222 nm辐射谱线的半值全宽度(FWHM)随着气压升高而变窄，但与C12比例的 变化关系不大。 制作了同轴KrBr’准分子灯，用正弦电源和脉冲电源驱动，通过改变总气压、 Br2比例等参数，研究了在不同参数下KrBr’准分子灯辐射强威效率、光谱等 的变化。207n／ll的辐射功率通过HamamatsuH8025—207紫外辐照度计探头测量 KrBr’准分子灯中心的辐照度，再由Keitz公式计算得出；而灯的输入功率则比较 了“电压电流积分法”和“李萨如图形法”两种方法。结果表明，“电压电流积分法” 更加准确。通过测量两种电源驱动下各种总气压、Br2比例条件下207nm的辐射 效率，最终确定了KrBr’准分子灯的最佳放电条件：脉冲电源驱动下，灯内总气 压300 mbar以及0．25％的Br2，对应的最佳效率为2．2％。 nlTl 关键词： 氯化氪；溴化氪；准分子灯；介质阻挡放电；222nm辐射：207 辐射；辐射效率； 923．321 中图分类号：O432．1l；TM The Characteristsof the Excilamps Xiaobo Zhuang，Ph．D． of Sourcesand Department Light Illuminating Engineering Fudan 10 University,20 ShaolongZhu，Advisor The a ofthecoaxial paperreportssystemat