硅基射频集成电片上无源元件的设计与建模.pdfVIP

摘要 硅基射频集成电路片上无源元件的设计与建模 摘要 随着无线通信、卫星导航、射频识别、移动电视等射频微波应用系统的迅猛发展，小型化、高 On 性能、低成本和低功耗消费类应用电子设备的市场需求激发了人们对于单芯片系统(SOC：System 选。然而，高品质无源元件的缺乏成为实现SOC的瓶颈之一。 片上无源元件，尤其是片上集成变压器及巴伦等，作为改善电路性能的重要元件在射频集成电 路设计中应用广泛。其中，变压器在现代低压CMOS射频集成电路中具有特殊重要性，而巴伦在需 要实现单端差分转换的电路中更是不可或缺。但由于硅基工艺衬底的高损耗特性以及元件自身结构 的复杂性，基于RFCMOS工艺实现高品质片上集成变压器和巴伦等无源元件是射频单芯片系统研 究领域中极具挑战性的课题。本论文基于RFCMOS工艺，对片上集成变压器、巴伦等无源元件的 设计优化与建模进行了深入研究。 本文首先从电磁场和电路基本理论入手，分析了无源元件的基本特性以及设计优化的标准，讨 论并定义了片上集成无源元件设计的优值；在对金属导